Интеллектуальный анализ данных в пространственном распределении параметров жизнедеятельности в физическом процессе
Автор: Струк П.В.
Журнал: Пространство, время и фундаментальные взаимодействия @stfi
Рубрика: Прикладные аспекты методов фундаментальной науки
Статья в выпуске: 2 (23), 2018 года.
Бесплатный доступ
Сверхбольшая база данных (от английского Very Large Database, VLDB) - это база данных, которая занимает довольно большой объём на физическом устройстве для хранения различных данных.Данная работа показывает моделирование процесса нагрева металлической мишени магнетрона. Для проведения подобных исследований был использован программный пакет Comsol Multiphysics, который способен решать математические и физические задачи при помощи моделирования. Были исследованы зависимости температуры мишени от плотности мощности, для двух металлов - медь и титан. Также для зависимости температуры мишени от времени при разных значениях плотности было проведено сравнение нагрева горячей и холодной мишени.
Пространство, процесс, информация, структура, развитие
Короткий адрес: https://sciup.org/142216017
IDR: 142216017 | DOI: 10.17238/issn2226-8812.2018.2.86-100
Список литературы Интеллектуальный анализ данных в пространственном распределении параметров жизнедеятельности в физическом процессе
- Raman P., Weberski J., Cheng et al. M. A high power impulse magnetron sputtering model to explain high deposition rate magnetic field configurations. American institute of physics. 2016. V. 17, S. 88-96
- Britun N. An overview on time-resolved optical analysis of HiPIMS discharge. Plasma processes and polymers. 2015. V. 12. S. 1010-027
- Samuelsson M., Lundin D., Jensen J. et al. On the film density using high power impulse magnetron sputtering. Surface & Coatings Technology. 2010. V. 205. S. 591-596
- Breilmann W., Maszl C., Benedikt J. et al. Dynamic of the growth flux at the substrate during high-power pulsed magnetron sputtering (HiPIMS) of titanium. Journal of physics: applied physics. 2013. V. 46. S. 22-34
- Solovyev A., Oskirko V., Semenov V. et al. Comparative study on Cu films prepared by DC, High-Power pulsed and burst magnetron sputtering. Journal of electronic materials. 2016. V. 34. S. 364-369
- Chunwei L., Xiubo T., Chunzhi G. et al. The improvement of high power impulse magnetron sputtering performance by an external unbalanced magnetic field. Vacuum. 2016. V. 133. S. 98-104
- Bordulaeva A., Bleykher., Sidelev D. et al. Acta Polytechnica. 2016. V. 56. S. 425-431
- Hovsepian P., Sugumaran A., Purandare Y. et al. Effect of the degree of high power impulse magnetron sputtering utilisation on the structure and properties of TiN films. Thin Solid Films. 2014. V. 21. S. 40-48
- Laurent H., Carin M., Caniverc R. et al. Simulations of joule effect heating in a bulge test. American institute of physics. 2016. V. 26. S. 217-24
- Anders A. Drifting localization of ionization runaway: unraveling the nature of anomalous transport in high power impulse magnetron sputtering. AIP Publishing. 2014. V. 111. S. 769-777
- Paola C. Modeling and simulation of microwave heating of foods under different process schedules. Food Bioprocess Technol. 2012. V. 5. S. 738-749
- Chaurasia A. Modeling, simulation and optimization of downdraft gasifier: studies on chemical kinetics and operating conditions on the performance of the biomass gasification process. Energy. 2016. V. 116. S. 1065-1076
- Horstmann F. Heat treatable indium tin oxide films deposited with high power pulse magnetron sputtering. Thin Solid Films. 2009. V. 517. S. 31783182
- Leggieri A. Multiphysics Modeling Based Design of a Key-Holes Magnetron. IEEE TRANSITIONS ON PLASMA SCIENCE. 2014. V. 15. S. 23-9
- Wang C. FEM analysis of the temperature and stress distribution in spark plasma sintering: modelling and experimental validation. Computational Materials Science. 2010. V. 49. S. 351-362
- Zanchini E. Long-term performance of large borehole heat exchanger fields with unbalanced seasonal loads and groundwater flow. Energy. 2012. V. 38. S. 66-77
