Исследование диэлектрических свойств тонких пленок оксида алюминия, выращенных методом молекулярного наслаивания
Автор: Борисова Татьяна Михайловна, Кастро Арата Рене Алехандро
Журнал: Труды Московского физико-технического института @trudy-mipt
Рубрика: Нанотехнология и нанометрия
Статья в выпуске: 1 (17) т.5, 2013 года.
Бесплатный доступ
Впервые экспериментально исследованы диэлектрические свойства МДП-структур на основе слоев оксида алюминия, полученных методом молекулярного наслаивания (МН). Определены значения диэлектрических параметров для слоев Al2O3 двух толщин. Обнаружено, что диэлектрическая релаксация в исследуемых структурах определяется вкладом дипольной и межфазной поляризаций. Температурно-частотная зависимость удельной проводимости указывает на существование прыжкового механизма переноса заряда с энергией активации ΔЕ = (0,15-0,30 ± 0,01) эВ.
Структуры, поляризация, диэлектрические параметры
Короткий адрес: https://sciup.org/142185891
IDR: 142185891
Список литературы Исследование диэлектрических свойств тонких пленок оксида алюминия, выращенных методом молекулярного наслаивания
- Robertson J. High dielectric constant oxides//Eur. Phys J. Appl. -2004. -N. 28. -P. 265-291.
- Ahmed Farag I. S., Battisha I. K., El-Rafaay M. M. Study of dielectric properties of 𝛼-alumina doped with MnO, CdO and MoO//Indian J. of Pure & App. Phys. -2005. -N. 43. -P. 446-458.
- Новиков Ю.Н., Гриценко В. А., Насыров К. А. Многофононный механизм ионизации ловушек в Al2O3: эксперимент и численное моделирование//Письма в ЖЭТФ. -2009. -Т. 89, вып. 10. -С. 599-602.
- Сазанов С. Г., Зулуев З. Н., Дрозд В. Е., Никифорова И. О. Зарядовые свойства слоев оксида алюминия, синтезированных методом молекулярного наслаивания//Письма в ЖТФ. -1998. -Т. 24, вып. 13. -С. 58-63.
- Барабан А. П., Егоров Д. В., Милоглядова Л. В. Особенности строения тонких многослойных диэлектрических пленок//Электронный журнал «Исследовано в России». -http://zhurnal.ape.relarn.ru/articles/2003/216.pdf. -2003. -Вып. 216. -С. 2513-2522.
- Choong-Ki Lee, Eunae Cho, Hyo-Sug Lee, Kwang Soo Seol and Seungwu Han. Comparative study of electronic structures and dielectric properties of alumina polymorphs by firstprinciples methods//Phys. rev. -2007. -N. 76. 245110. -P. 1-7.
- Орешкин П.Т. Физика полупроводников и диэлектриков: уч. пособие. -М.: Высш. школа, 1997.
