Исследование оптических плоских поверхностей светоделительных пластин средством когерентной оптики

Исследование оптических плоских поверхностей светоделительных пластин средством когерентной оптики

Автор: Е. Е. Майоров, В. Б. Коцкович, В. П. Пушкина, А. В. Арефьев, Р. Б. Гулиев, А. В. Дагаев

Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie

Рубрика: Физика приборостроения

Статья в выпуске: 2 т.32, 2022 года.

Бесплатный доступ

В статье представлена экспериментальная установка для измерения геометрических параметров оптических поверхностей деталей. Показана актуальность работы, т.к. получение высокоточной и достоверной информации о геометрических параметрах поверхностей всегда являлось важной задачей метрологии. В работе приведена оптическая схема интерферометра, а также даны технико-эксплуатационные характеристики экспериментальной установки. Определены объекты и метод исследования. Получены интерферограммы с поверхностей лучевых делителей разных производителей. Проанализированы изображения интерференционных полей и выявлены основные параметры волновых фронтов. Оптические поверхности контролировались экспериментальной установкой с точностью не хуже 0.05 λ. Исследовались отражательные покрытия светоделителей, и получены зависимости коэффициента отражения по координатам x и y. Сравнительный анализ выявил предпочтительный вариант для современных автоматизированных интерферометров.

Еще

Деформация волнового фронта, интерферограмма, коэффициент отражения, интерферометр Физо, размах, среднее квадратичное отклонение, точность измерений

Короткий адрес: https://sciup.org/142234346

IDR: 142234346   |   DOI: 10.18358/np-32-2-i6574

Список литературы Исследование оптических плоских поверхностей светоделительных пластин средством когерентной оптики

  • Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1970. 855 с.
  • Франсон М., Сланский С. Когерентность в оптике / пер. с франц. под ред. К.С. Шифрина. М.: Наука, 1967. 80 с.
  • Ландсберг Г.С. Оптика. М.: Наука, 1976. 926 с.
  • Малакара Д. Оптический производственный контроль / пер. с англ. под ред. А.Н. Соснова. М.: Машиностроение, 1985. 340 с.
  • Креопалова Г.В., Лазарева Н.Л., Пуряев Д.Т. Оптические измерения. М.: Машиностроение, 1987. 264 с.
  • Афанасьев В.А. Оптические измерения. М.: Недра, 1968. 263 с.
  • Левин Б.М. Оптические методы определения характера профиля поверхностей // Оптико-механическая промышленность. 1938. № 10-11, С. 37–41.
  • Захарьевский А.Н. Интерферометры. М.: Оборонгиз, 1952. 296 с.
  • Коломийцев Ю.В. Интерферометры. Л.: Машиностроение, 1976. 296 с.
  • Прокопенко В.Т., Майоров Е.Е. Интерферометрия диффузно отражающих объектов. СПб.: НИУ ИТМО, 2014. 195 с.
  • Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т., Ушверидзе Л.А. Оптимизация динамических параметров оптического щупа триггерного типа // Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. 2012. № 2 (78). С. 13–16. URL: https://ntv.ifmo.ru/ru/article/5/optimizaciya_dinamicheskih_parametrov_opticheskogo_schupa_triggernogo_tipa.htm
  • Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т., Ушверидзе Л.А. Расчет параметров сканирования интерферометрической
  • системы контроля формы диффузно отражающих объектов // Приборы. 2012. № 7 (145). С. 23–25. URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=17910855
  • Майоров Е.Е., Машек А.Ч., Прокопенко В.Т., Чистякова Н.Я. Исследование метрологических характеристик измерительной оптико-механической головки // Известия высших учебных заведений. Приборостроение. 2012. Т. 55, № 7. С. 61–67. URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=17790991
  • Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т., Шерстобитова А.С. Исследование оптико-электронной системы расшифровки голографических интерферограмм // Оптический журнал. 2013. Т. 80, № 3. С. 47–51. URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=23285864
  • Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т. Исследование влияния спекл-структуры на формирование интерференционного сигнала и погрешность измерений // Научное приборостроение. 2013. Т. 23, № 2, С. 38–46. URL: http://iairas.ru/mag/2013/abst2.php#abst5
  • Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т. Вывод аналитического выражения для разности хода лучей, прошедших интерферометр Жамена // Научное приборостроение. 2013. Т. 23, № 3. С. 76–81. URL: http://iairas.ru/mag/2013/abst3.php#abst10
  • Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т., Ушверидзе Л.А. Система когерентной обработки спеклограмм для исследования поверхностей зубной ткани // Медицинская техника. 2013. № 6 (282). С. 25–27. URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=21034782
  • Майоров Е.Е., Машек А.Ч., Удахина С.В., Цыганкова Г.А., Хайдаров Г.Г., Черняк Т.А. Разработка компьютерной интерференционной системы контроля негладких поверхностей // Приборы. 2015. № 11 (185). С. 26–31. URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=25340893
  • Прокопенко В.Т., Майоров Е.Е., Машек А.Ч., Удахина С.В., Цыганкова Г.А., Хайдаров А.Г., Черняк Т.А. Оптико-электронный прибор для контроля геометрических параметров диффузно отражающих объектов // Известия высших учебных заведений. Приборостроение. 2016. Т. 59, № 5. С. 388–394. DOI: 10.17586/0021-3454-2016-59-5-388-394
  • Майоров Е.Е., Дагаев А.В., Пономарев С.В., Черняк Т.А. Исследование интерферометра сдвига в фазоизмерительных приборах и системах расшифровки голографических интерферограмм // Научное приборостроение. 2017. Т. 27, № 2. С. 32–40. URL: http://iairas.ru/mag/2017/abst2.php#abst4
  • Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т., Машек А.Ч., Цыганкова Г.А., Курлов А.В., Хохлова М.В., Кирик Д.И., Капралов Д.Д. Экспериментальное исследование метрологических характеристик автоматизированной интерферометрической системы измерения формы поверхности диффузно отражающих объектов // Измерительная техника. 2017. № 10. С. 33–37. URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=30525791
  • Курлов В.В., Коцкович В.Б., Майоров Е.Е., Пушкина В.П., Таюрская И.С. Экспериментальное исследование разработанной интерференционной системы для измерений поверхности объектов сложной формы // Известия тульского государственного университета. Технические науки. 2020. № 8. C. 179–189. URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=44038077
  • Цыганкова Г.А., Майоров Е.Е., Черняк Т.А., Константинова А.А., Машек А.Ч., Писарева Е.А. Исследование разработанного интерферометра поперечного сдвига для настройки интерференционных полос при обработке интерферограмм // Приборы. 2021. № 2. С. 20–25. URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=44906824
  • Хохлова М.В., Дагаев А.В., Майоров Е.Е., Арефьев А.В., Гулиев Р.Б., Громов О.В. Исследование оптико-электронной системы при обработке голографических пластин // Международный научно-исследовательский журнал. 2021. № 8 (110). С. 103–108. DOI: 10.23670/IRJ.2021.110.8.015
  • Хохлова М.В., Дагаев А.В., Майоров Е.Е., Арефьев А.В., Гулиев Р.Б., Громов О.В. Интерференционная система измерения геометрических параметров отражающих поверхностей // Международный научноисследовательский журнал. 2021. № 6 (108). С. 184–189. DOI: 10.23670/IRJ.2021.108.6.029
Еще
Статья научная
QR-код для установки приложения SciUp Наведите камеру и скачайте бесплатное приложение SciUp