ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ ПЛЕНОЧНОГО ОТРАЖАТЕЛЯ НА ОСНОВЕ SiO2–ZrO2–P2O5–CaO ДЛЯ ОПТИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ ИНТЕРФЕРОМЕТРА
Автор: Е. Е. Майоров, В. В. Курлов, А. В. Арефьев, В. П. Пушкина
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Физика приборостроения
Статья в выпуске: 1, 2025 года.
Бесплатный доступ
В работе рассмотрена возможность применения экспериментальной интерференционной установки с опорным волновым фронтом, сформированным путем дифракции лазерного пучка на микрометрическом отверстии, для контроля поверхности. Получение высокоточной и достоверной информации о геометрических параметрах поверхности объектов всегда являлось важной задачей метрологии, поэтому данная работа актуальна и перспективна. В работе определена цель и поставлена задача исследования. Приведены внешний вид и оптическая схема, а также описана работа схемы. Получены размах (peak-to-valley, R) и среднеквадратическое отклонение (RMS, s) в микрометрах поверхности, а также распределение коэффициента отражения в двух направлениях по x и по y.
Интерференционная установка, распределение коэффициента отражения, размах, точность измерений, среднеквадратическое отклонение, пленочный отражатель
Короткий адрес: https://sciup.org/142244761
IDR: 142244761
Список литературы ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ ПЛЕНОЧНОГО ОТРАЖАТЕЛЯ НА ОСНОВЕ SiO2–ZrO2–P2O5–CaO ДЛЯ ОПТИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ ИНТЕРФЕРОМЕТРА
- 1. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1970. 855 с.
- 2. Kirillovsky V.K. Diffraction Reference Wavefront Laser Interferometer. // SPIE. The International Society for Optical Engineering Proceed. "Miniature and Microoptics: Fabrication and System Applications". 1992. Vol. 1751. pp. 197–200. DOI: 10.1117/12.138881
- 3. Селиванов М.Н., Фридман А.Э., Кудряшова Ж.В. Качество измерений. Метрологическая справочная книга. Л.: Лениздат, 1987. 294 с.
- 4. Малакара Д. Оптический производственный контроль / Пер. с англ. под ред. А.Н. Соснова. М.: Машиностроение, 1985. 340 с.
- 5. Креопалова Г.В., Лазарева Н.Л., Пуряев Д.Т. Оптические измерения. М.: Машиностроение, 1987. 264 с.
- 6. Духопел И.И., Федина Л.Г. Интерференционные методы и приборы для контроля правильности формы
- сферических поверхностей // ОМП. 1973. № 8. С. 50 – 55.
- 7. Захарьевский А.Н. Интерферометры. М.: Оборонгиз, 1952. 296 с.
- 8. Коломийцев Ю.В. Интерферометры. Л.: Машиностроение, 1976. 295 с.
- 9. Прокопенко В.Т., Майоров Е.Е. Интерферометрия диффузно отражающих объектов. СПб.: НИУ ИТМО, 2014. 195 c.
- 10. Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т., Ушверидзе Л.А. Оптимизация динамических параметров оптического щупа триггерного типа // Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. 2012. № 2 (78). С. 13–16.
- URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=17755116
- 11. Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т., Ушверидзе Л.А. Расчет параметров сканирования интерферометрической системы контроля формы диффузно отражающих объектов // Приборы. 2012. № 7 (145). С. 23–25. URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=17910855
- 12. Иванова Т.А., Кирилловский В.К. Проектирование и контроль оптики микроскопов. Л.: Машиностроение, 1983. 231 с.
- 13. Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т., Шерстобитова А.С. Исследование оптико-электронной системы расшифровки голографических интерферограмм // Оптический журнал. 2013. Т. 80, № 3. С. 47–51. URL: https://opticjourn.ru/ru/abstract/2013-80-3-47-51
- 14. Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т. Исследование влияния спекл-структуры на формирование интерференционного сигнала и погрешность измерений // Научное приборостроение. 2013. Т. 23, № 2. С. 38–46. URL: http://iairas.ru/mag/2013/abst2.php#abst5
- 15. Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т. Вывод аналитического выражения для разности хода лучей, прошедших интерферометр Жамена // Научное приборостроение. 2013. Т. 23, № 3. С. 76–81. URL: http://iairas.ru/mag/2013/abst3.php#abst10
- 16. Майоров Е.Е., Машек А.Ч., Удахина С.В., Цыганкова Г.А., Хайдаров Г.Г., Черняк Т.А. Разработка компьютерной интерференционной системы контроля негладких поверхностей // Приборы. 2015. № 11 (185). С. 26–31.
- URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=25340893
- 17. Прокопенко В.Т., Майоров Е.Е., Машек А.Ч., Удахина С.В., Цыганкова Г.А., Хайдаров А.Г., Черняк Т.А. Оптико-электронный прибор для контроля геометрических параметров диффузно отражающих объектов // Известия высших учебных заведений. Приборостроение. 2016. Т. 59, № 5. С. 388–394. DOI: 10.17586/0021-3454-2016-59-5-388-394
- 18. Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т., Машек А.Ч., Цыганкова Г.А., Курлов А.В., Хохлова М.В., Кирик Д.И., Капралов Д.Д. Экспериментальное исследование метрологических характеристик автоматизированной интерферометрической системы измерения формы поверхности диффузно отражающих объектов // Измерительная техника. 2017. № 10. С. 33–37.
- URL: https://www.izmt.ru/jour/article/view/1015
- 19. Майоров Е.Е., Бородянский Ю.М., Гулиев Р.Б., Дагаев А.В., Курлов В.В., Таюрская И.С. Исследование оптических поверхностей плосковыпуклых линз экспериментальной интерференционной установкой с дифрагированным опорным волновым фронтом // Научное приборостроение. 2023. Т. 33, № 1. С. 43–53. URL: http://iairas.ru/mag/2023/abst1.php#abst4