ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ ПЛЕНОЧНОГО ОТРАЖАТЕЛЯ НА ОСНОВЕ SiO2–ZrO2–P2O5–CaO ДЛЯ ОПТИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ ИНТЕРФЕРОМЕТРА

Автор: Е. Е. Майоров, В. В. Курлов, А. В. Арефьев, В. П. Пушкина

Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie

Статья в выпуске: 1, 2025 года.

Бесплатный доступ

В работе рассмотрена возможность применения экспериментальной интерференционной установки с опорным волновым фронтом, сформированным путем дифракции лазерного пучка на микрометрическом отверстии, для контроля поверхности. Получение высокоточной и достоверной информации о геометрических параметрах поверхности объектов всегда являлось важной задачей метрологии, поэтому данная работа актуальна и перспективна. В работе определена цель и поставлена задача исследования. Приведены внешний вид и оптическая схема, а также описана работа схемы. Получены размах (peak-to-valley, R) и среднеквадратическое отклонение (RMS, s) в микрометрах поверхности, а также распределение коэффициента отражения в двух направлениях по x и по y.

Еще

Интерференционная установка, распределение коэффициента отражения, размах, точность измерений, среднеквадратическое отклонение, пленочный отражатель

Короткий адрес: https://sciup.org/142244761

IDR: 142244761

Список литературы ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ ПЛЕНОЧНОГО ОТРАЖАТЕЛЯ НА ОСНОВЕ SiO2–ZrO2–P2O5–CaO ДЛЯ ОПТИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ ИНТЕРФЕРОМЕТРА

1. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1970. 855 с.
2. Kirillovsky V.K. Diffraction Reference Wavefront Laser Interferometer. // SPIE. The International Society for Optical Engineering Proceed. "Miniature and Microoptics: Fabrication and System Applications". 1992. Vol. 1751. pp. 197–200. DOI: 10.1117/12.138881
3. Селиванов М.Н., Фридман А.Э., Кудряшова Ж.В. Качество измерений. Метрологическая справочная книга. Л.: Лениздат, 1987. 294 с.
4. Малакара Д. Оптический производственный контроль / Пер. с англ. под ред. А.Н. Соснова. М.: Машиностроение, 1985. 340 с.
5. Креопалова Г.В., Лазарева Н.Л., Пуряев Д.Т. Оптические измерения. М.: Машиностроение, 1987. 264 с.
6. Духопел И.И., Федина Л.Г. Интерференционные методы и приборы для контроля правильности формы
сферических поверхностей // ОМП. 1973. № 8. С. 50 – 55.
7. Захарьевский А.Н. Интерферометры. М.: Оборонгиз, 1952. 296 с.
8. Коломийцев Ю.В. Интерферометры. Л.: Машиностроение, 1976. 295 с.
9. Прокопенко В.Т., Майоров Е.Е. Интерферометрия диффузно отражающих объектов. СПб.: НИУ ИТМО, 2014. 195 c.
10. Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т., Ушверидзе Л.А. Оптимизация динамических параметров оптического щупа триггерного типа // Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. 2012. № 2 (78). С. 13–16.
URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=17755116
11. Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т., Ушверидзе Л.А. Расчет параметров сканирования интерферометрической системы контроля формы диффузно отражающих объектов // Приборы. 2012. № 7 (145). С. 23–25. URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=17910855
12. Иванова Т.А., Кирилловский В.К. Проектирование и контроль оптики микроскопов. Л.: Машиностроение, 1983. 231 с.
13. Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т., Шерстобитова А.С. Исследование оптико-электронной системы расшифровки голографических интерферограмм // Оптический журнал. 2013. Т. 80, № 3. С. 47–51. URL: https://opticjourn.ru/ru/abstract/2013-80-3-47-51
14. Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т. Исследование влияния спекл-структуры на формирование интерференционного сигнала и погрешность измерений // Научное приборостроение. 2013. Т. 23, № 2. С. 38–46. URL: http://iairas.ru/mag/2013/abst2.php#abst5
15. Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т. Вывод аналитического выражения для разности хода лучей, прошедших интерферометр Жамена // Научное приборостроение. 2013. Т. 23, № 3. С. 76–81. URL: http://iairas.ru/mag/2013/abst3.php#abst10
16. Майоров Е.Е., Машек А.Ч., Удахина С.В., Цыганкова Г.А., Хайдаров Г.Г., Черняк Т.А. Разработка компьютерной интерференционной системы контроля негладких поверхностей // Приборы. 2015. № 11 (185). С. 26–31.
URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=25340893
17. Прокопенко В.Т., Майоров Е.Е., Машек А.Ч., Удахина С.В., Цыганкова Г.А., Хайдаров А.Г., Черняк Т.А. Оптико-электронный прибор для контроля геометрических параметров диффузно отражающих объектов // Известия высших учебных заведений. Приборостроение. 2016. Т. 59, № 5. С. 388–394. DOI: 10.17586/0021-3454-2016-59-5-388-394
18. Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т., Машек А.Ч., Цыганкова Г.А., Курлов А.В., Хохлова М.В., Кирик Д.И., Капралов Д.Д. Экспериментальное исследование метрологических характеристик автоматизированной интерферометрической системы измерения формы поверхности диффузно отражающих объектов // Измерительная техника. 2017. № 10. С. 33–37.
URL: https://www.izmt.ru/jour/article/view/1015
19. Майоров Е.Е., Бородянский Ю.М., Гулиев Р.Б., Дагаев А.В., Курлов В.В., Таюрская И.С. Исследование оптических поверхностей плосковыпуклых линз экспериментальной интерференционной установкой с дифрагированным опорным волновым фронтом // Научное приборостроение. 2023. Т. 33, № 1. С. 43–53. URL: http://iairas.ru/mag/2023/abst1.php#abst4

Еще

Статья научная