Исследование режимов магнетронного напыления тонких пленок титана для криогенных детекторов
Автор: Ляхов Игорь Геннадиевич, Кузьмин Артем Александрович, Ильин Алексей Сергеевич, Ермакова Марина Александровна, Булах Константин Викторович
Журнал: Труды Московского физико-технического института @trudy-mipt
Рубрика: Нанотехнология и нанометрия
Статья в выпуске: 1 (17) т.5, 2013 года.
Бесплатный доступ
Проведено исследование тонких пленок титана, получаемых при различных режимах магнетронного напыления на кремниевой подложке с помощью электрических измерений при Т = 300 K и 77 K, исследований на атомно-силовом микроскопе (АСМ) и рентгеновской дифрактометрии (XRD). Показано, как зависит остаточное удельное сопротивление пленок (и критическая температура сверхпроводящего перехода Тс) от параметров напыления. Данные сопоставлены с измерениями на АСМ и XRD.
Сверхпроводниковые болометры, сенсоры на краю перехода, тонкие сверхпроводниковые пленки титана, экспресс метод оценки критической температуры, рентгеновская дифрактометрия
Короткий адрес: https://sciup.org/142185898
IDR: 142185898
Список литературы Исследование режимов магнетронного напыления тонких пленок титана для криогенных детекторов
- Vystavkin A.N., Kovalenko A.G., Shitov S.V. et al. Development of high sensitive 1.2 mm imaging radiometer with two polarization antenna-coupled TES bolometer array for groundbased 6-m optical telescope//Proc. SPIE. -2008. V. -7020. -P. 7020-7024.
- Olaya D., Wei J., Pereverzev S., Karasik B.S., Kawamura J.H., McGrath W.R., Sergeev A.V., Gershenson M.E. An ultrasensitive hot-electron bolometer for low-background SMM applications//Proc. SPIE. -2006. -V. 6275. I -627506.
- Peruzzi A. [et al.]. Investigation of the titanium superconducting transition as a temperature reference point below 0.65 K//Metrologia. -2000. -V. 37, N 3. -P. 229-233.
- Testardi L.R., Mattheiss L.F. Electron lifetime effects on properties of A15 and bcc materials//Phys. Rev. Lett. -1978. -V. 41. -N 23.
- Gandini C., Lacquaniti V., Monticone E., Portesi C., Rajteri M., Rastello M. L., Pasca E., Ventura G. Correlation of critical temperatures and electrical properties in titanium films//International Journal of Modern Physics B. -2003. -V. 17. -P. 948-952.
- McMillan W.L.//Phys. Rev. -1968. -V. 167. -P. 331-334.
- Friebertshauser P. E., McCamont J. W. Electrical properties of Titanium, Zirconium, and Hafnium films from 300 K to 1.3 K//J. Vac. Sci. and Techn. -1968. -V. 6. -P. 184-187.
- Igasaki Y., Mitsuhashi H. Crystal structures and electrical properties of Titanium films evaporated in high vacuum//Thin Solid Films. -1978. -V. 5. -P. 33-42.
- Технология тонких пленок: справочник/под. ред. Л. Майссела, Р. Глэнга. -М.: Советское радио, 1977. -664 c.
