ИЗГОТОВЛЕНИЕ И ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТАЛЛОКСИДНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ГАЗОВЫХ СЕНСОРОВ НА АММИАК

Автор: М. В. Дуйкова, С. Э. Шконда, С. А. Казаков, М. А. Гревцев

Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie

Рубрика: Физика приборостроения

Статья в выпуске: 4 т.30, 2020 года.

Бесплатный доступ

Разработаны и синтезированы чувствительные к аммиаку материалы на основе диоксида олова. Произведена оценка степени дефектности структуры, исследованы кислотно-основные центры поверхности синтезированных материалов индикаторным методом. Установлена и проанализирована взаимосвязь хемосорбционных свойств синтезированных газочувствительных слоев сенсоров (газовый отклик на концентрационное воздействие аммиака) и структуры материала датчика. Новизна исследования заключается в представленном в работе комплексном подходе к созданию, разработке и изготовлению сенсоров на аммиак путем синтеза материала с наперед заданными свойствами с использованием сразу нескольких методов модернизации поверхности.

Еще

Газоанализатор, полупроводниковый сенсор, детектирование аммиака, хемосорбция, дефектная структура, рентгеноструктурный анализ

Короткий адрес: https://sciup.org/142224615

IDR: 142224615   |   УДК: 546.302; 543.272   |   DOI: 10.18358/np-30-4-i5262

MANUFACTURING AND RESEARCH OF METAL OXIDE SEMICONDUCTOR GAS SENSORS FOR AMMONIA

Ammonia-sensitive materials based on tin dioxide have been developed and synthesized. The degree of structural defects was evaluated, and the acid-base surface centers of synthesized materials were studied using the indicator method. The relationship between the chemisorption properties of synthesized gas-sensitive sensor layers (gas response to the concentration effect of ammonia) and the structure of the sensor material is discovered and analyzed. The novelty of the research is the integrated approach presented in this paper to the creation, development and manufacture of sensors for ammonia by synthesizing a material with pre-set properties using several methods of surface modernization simultaneously.

Еще

Текст научной статьи ИЗГОТОВЛЕНИЕ И ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТАЛЛОКСИДНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ГАЗОВЫХ СЕНСОРОВ НА АММИАК

Список литературы ИЗГОТОВЛЕНИЕ И ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТАЛЛОКСИДНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ГАЗОВЫХ СЕНСОРОВ НА АММИАК

  • 1. Долгополов Н.В., Яблоков М.Ю. "Электронный нос" — новое направление индустрии безопасности // Мир и
  • безопасность. 2007. № 3. С. 54–59.
  • 2. Shirasu M., Touhara K. The scent of disease: volatile organic compounds of the human body related to disease and disorder // J Biochem. 2011. Vol. 150, no. 3. P. 257–266. DOI: 10.1093/jb/mvr090
  • 3. Степанов Е.В. Методы высокочувствительного газового анализа молекул-биомаркеров в исследованиях
  • выдыхаемого воздуха // Труды института общей физики им. А.М. Прохорова. 2005. Т. 61. С. 5–47.
  • 4. Тиунов Л.А., Кустов В.В. Продукты метаболизма при радиационном поражении. М.: Атомиздат, 1980. 104 с.
  • 5. Скрупский В.А. Эндогенные летучие соединения — биологические маркеры в физиологии и патологии человека и методы их определения. Научно-технический отчет. Институт океанологии РАН, 1994. 75 с.
  • 6. Hunt R.D. Measurements of partial pressure of ammonia in breath and arterial blood: evidence for secretion of ammonia into expired gas by metabolism of monoamines in the Lung. Ph.D. Dissertation. Gainesville, 1976. 154 p.
  • 7. Tsuji S., Kawano S., Tsujii M., Takei Y., Tanaka M., Sawaoka H., Nagano K., Fusamoto K., Kamada T. Helicobacter pylori extract stimulates inflammatory nitric oxide
  • production // Cancer Lett. 1996. Vol. 108, no. 2. P. 195–
  • 200. DOI: 10.1016/S0304-3835(96)04410-2
  • 8. ДмитриенкоМ.А., ГинакА.И. Аммиак как газообразный биомаркер инфекции helicobacterpylori // Известия СПбГТИ (ТУ). 2016. № 33(59). С. 56–63. URL:
  • http://science.spb.ru/files/IzvetiyaTI/2016/33/articles/12/fi
  • les/assets/basic-html/page-1.html#
  • 9. Кривецкий В.В., Румянцева М.Н., Гаськов А.М. Химическая модификация нанокристаллического диоксида
  • олова для селективных газовых сенсоров // Успехи
  • химии. 2013.Т. 82, № 10. С. 917–941. DOI:
  • 10.1070/RC2013v082n10ABEH004366
  • 10. Малышев В.В. Газочувствительность полупроводниковых оксидов металлов как результат химических
  • превращений и химических реакций на каталитически
  • активных поверхностях. Автореф. дис. … д-ра физ.-
  • мат. наук. М., 2008. 48 с.
  • 11. Румянцева М.Н., Коваленко В.В., Гаськов А.М., Панье Т. Нанокомпозиты на основе оксидов металлов
  • как материалы для газовых сенсоров // Российский
  • химический журнал (ЖРХО им. Д.И. Менделеева).
  • 2007. Т. 51, № 6. C. 61–70.
  • URL: http://www.chem.msu.ru/rus/jvho/2007-6/61.pdf
  • 12. Мясников И.А., Сухарев В.Я., Куприянов Л.Ю., Завьялов С.А. Полупроводниковые сенсоры в физикохимических исследованиях. М.: Наука, 1991. 327 c.
  • 13. Румянцева М.Н. Химическое модифицирование и сенсорные свойства нанокристаллического диоксида олова. Дис. … д-ра хим. наук. М., 2009. 329 с.
  • 14. Румянцева М.Н., Сафонова О.В., Булова М.Н. и др. Примеси в нанокристаллическом диоксиде олова // Известия РАН. Сер. Хим. 2003. Т. 52, № 6. С. 1151–
  • 1171. DOI: 10.1023/A:1024916020690
  • 15. Вайнштейн Б.К. Современная кристаллография, т. 1. М.: Наука, 1979. 384 с.
  • 16. Горелик С.С., Расторгуев Л.Н., Скаков Ю.А. Рентгенографический и электронографический анализ. М.:
  • Металлургия, 1970. 368 с.
  • 17. Шаренкова Н.В., Каминский В.В., Петров С.Н. Размеры областей когерентного рассеяния рентгеновского излучения в тонких пленках SmS и их визуализация // Журнал технической физики. 2011. Т. 81, № 9. С. 144–146. URL: http://journals.ioffe.ru/articles/10424
  • 18. Танабе К. Твердые кислоты и основания. М.: Мир, 1973. 183 с.
  • 19. Ларионов, М.И. Исследование кислотно-основных и адсорбционных свойств веществ оксидной природы. Дис. … канд. хим. наук. СПб., 2016. 169 с.
Еще