Измерение и управление площадью кристалла на установке вытягивания германия
Автор: Саханский Сергей Павлович
Журнал: Сибирский аэрокосмический журнал @vestnik-sibsau
Рубрика: Технологические процессы и материалы
Статья в выпуске: 1 (18), 2008 года.
Бесплатный доступ
Предложена математическая модель измерения текущей площади монокристаллов германия на установке выращивания по способу Чохральского, позволяющая измерять и управлять текущей площадью монокристалла на основе широтной модуляции сигнала датчика уровня.
Короткий адрес: https://sciup.org/148175632
IDR: 148175632
Статья научная
