Измерение толщины тонких плёнок кобальта и железа методом рентгеновской рефлектометрии
Автор: Лукьянова Я.А., Усов Д.А.
Журнал: Международный журнал гуманитарных и естественных наук @intjournal
Рубрика: Физико-математические науки
Статья в выпуске: 12-3 (99), 2024 года.
Бесплатный доступ
В данной статье представлены результаты измерений толщины и анализа шероховатости поверхности тонких плёнок оксидов железа (FeO) и кобальта (CoO) с использованием метода рентгеновской рефлектометрии. Основной целью исследования было выполнение измерений рефлектометрических кривых указанных материалов, последующее моделирование этих кривых для адаптации параметров толщины и шероховатости. Разработанная методика позволяет улучшить качество контроля и характеристики готовых элементов на основе тонких плёнок, обеспечивая более высокую точность соответствия экспериментальных данных теоретическим моделям. Результаты работы важны для дальнейшего развития технологий производства и применения тонких плёнок в различных инновационных областях.
Рентгеновская рефлектометрия, тонкие плёнки, анализ шероховатости, толщина пленки, моделирование
Короткий адрес: https://sciup.org/170208577
IDR: 170208577 | DOI: 10.24412/2500-1000-2024-12-3-272-275
Список литературы Измерение толщины тонких плёнок кобальта и железа методом рентгеновской рефлектометрии
- Журавлева П.Л., Щур П.А., Мельников А.А. Изучение структурных параметров тонких пленок аналитическими методами // ТРУДЫ ВИАМ. - 2019. - № 6 (78). - С. 104-113. EDN: HSYPEA
- Мамонтов А.И., Петраков А.П., Зимин С.П. Пористость и морфология поверхности слоев селенида свинца - селенида олова на кремниевых подложках по данным рентгено-дифракционных исследований // Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки. - 2018. - № 11 (1). - С. 102-111. EDN: YWTUYH
- Татаринцева Т.Б. Методы исследования материалов и процессов: учебное пособие. - Казань: Казан. гос. энерг. ун-т, 2014. - 292 с.
- Чижов П., Левин Э., Митяев А., Тимофеев А. Приборы и методы рентгеновской и электронной дифракции: учебное пособие. - М.: Можайский полиграфический комбинат, 2011. - 152 с.
- Стогней О.В., Смирнов А.Н., Ситников А.В. Термическая стабильность многослойной наноструктуры Mg/NbO // Сборник научных статей 3-й Международной научно-практической конференции. - Курск: ЗАО "Университетская книга", 2017. - С. 144-150. EDN: ZBAPQH
