ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ УСТАНОВКИ, ИСПОЛЬЗУЮЩЕЙ ИСТОЧНИК БЕЛОГО СВЕТА ДЛЯ КОНТРОЛЯ МИКРОРЕЛЬЕФА ПОВЕРХНОСТИ
Автор: Е. Е. Майоров, В. П. Пушкина, Р. Б. Гулиев, А. В. Дагаев
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Физика приборостроения
Статья в выпуске: 2, 2025 года.
Бесплатный доступ
Исследование освещает проблему метрологии негладких поверхностей и выявление технических характеристик разработанной интерферометрической установки, где в качестве источника излучения применялся диод белого света. Получение высокоточной информации о геометрии оптической либо негладкой поверхности является значимой проблемой для метрологического обеспечения, и интерференционные приборы и комплексы, использующие источники света, которые загрубляют лазерный режим, способны обеспечить исследователя такой информацией. В работе исследованы метрологические параметры экспериментальной установки: диапазон, погрешность измерений, амплитуду интерференционного сигнала. Полученные экспериментальные результаты представлены в виде технических характеристик.
Длина световой волны, контраст интерференционного поля, длина когерентности, погрешность измерений, диапазон измерений, амплитуда интерференционного сигнала, диаметр светового пятна
Короткий адрес: https://sciup.org/142244853
IDR: 142244853
Список литературы ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ УСТАНОВКИ, ИСПОЛЬЗУЮЩЕЙ ИСТОЧНИК БЕЛОГО СВЕТА ДЛЯ КОНТРОЛЯ МИКРОРЕЛЬЕФА ПОВЕРХНОСТИ
- 1. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1970. 855 с.
- 2. Креопалова Г.В., Лазарева Н.Л., Пуряев Д.Т. Оптические измерения. М.: Машиностроение, 1987. 264 с.
- 3. Майоров Е.Е., Голубков В.А., Гулиев Р.Б., Дагаев А.В. Использование частично когерентного интерференционного зонда для измерения микрорельефа поверхности обработанных керамических пластин // Известия Тульского государственного университета. Технические науки. 2025. Вып. 1. С. 210–217.
- 4. Малакара Д. Оптический производственный контроль / Пер. с англ. под ред. А.Н. Соснова. М.: Машиностроение, 1985. 340 с.
- 5. Афанасьев В.А. Оптические измерения. М.: Недра, 1968. 263 с.
- 6. Ахманов С.А., Дьяков Ю.Е., Чиркин А.С. Введение в статистическую радиофизику и оптику. М., 1981. 640 с.
- 7. Майоров Е.Е., Костин Г.А., Черняк Т.А., Баранов Н.Е. Использование излучения с малой временной когерентностью для исследования поверхности щелевых закрылок на крыле самолета // Известия Тульского государственного университета. Технические науки. 2023. Вып. 7. С. 577–581.
- 8. Майоров Е.Е., Арефьев А.В., Курлов В.В., Пушкина В.П., Бородянский Ю.М., Таюрская И.С. Экспериментальное исследование косметических масел низкокогерентным интерференционным радаром // Известия Тульского государственного университета.
- Технические науки. 2023. Вып. 7. С. 585–590.
- 9. Майоров Е.Е., Арефьев А.В., Гулиев Р.Б., Пушкина В.П., Дагаев А.В. Интерференционный метод в исследовании поверхности микроканалов полимерных и кварцевых микрофлюидных чипов // Приборы. 2024. № 2. С. 28–32. URL: https://elibrary.ru/item.asp?id=63878360
- 10. Майоров Е.Е., Костин Г.А., Курлов В.В., Баранов Н.Е. Исследование динамической поверхности летательного аппарата интерференционным методом // Изв. вузов. Приборостроение. 2024. Т. 67, № 8. С. 722–726. DOI: 10.17586/0021-3454-2024-67-8-722-726
- 11. Майоров Е.Е., Костин Г.А., Баранов Н.Е., Жулега И.А., Новиков А.В. Инновационный подход к измерению микрорельефа поверхности материалов сложной формы интерференционным методом // Приборы. 2025. № 1. С. 31–35.
- 12. Майоров Е.Е., Курлов В.В., Арефьев А.В., Пушкина В.П. Применение частично когерентного излучения в интерференционном устройстве для контроля рабочей поверхности полировочного материала оптических изделий // Известия Тульского государственного университета. Технические науки. 2025. Вып. 1. С. 201–209.
