Метод локализованного синтеза высокоориентированных углеродных нанотрубок для применения в вакуумной микроэлектронике
Автор: Батурин Андрей Сергеевич, Кузин Артур Азатович, Лейченко Александр Сергеевич, Негров Дмитрий Владимирович, Стариков Павел Александрович
Журнал: Труды Московского физико-технического института @trudy-mipt
Рубрика: Нанотехнология и нанометрия
Статья в выпуске: 1 (17) т.5, 2013 года.
Бесплатный доступ
Рассматривается задача локализованного синтеза высокоориентированных углеродных нанотрубок на подложке методом химического газофазного осаждения, усиленного плазмой. Исследуется зависимость характеристик полученных массивов от параметров роста, локальные автоэмиссионные характеристики методом локального зондирования и характеристики полученных массивов в микродиоде.
Углеродные наноматериалы, нанотрубки, автоэмиссия, химическое газофазное осаждение, направленный рост, никелевый катализатор, автоэмиссионная зондовая методика исследования, планарный катод
Короткий адрес: https://sciup.org/142185882
IDR: 142185882
Список литературы Метод локализованного синтеза высокоориентированных углеродных нанотрубок для применения в вакуумной микроэлектронике
- Baughman R. H., Zakhidov A. A., de Heer W. A. Carbon Nanotubes-the Route Toward Applications//Science. -2002. -V. 297, N 5582. -P. 787-792.
- Frackowiak E., Metenier K., Bertagna V., Beguin F. Supercapacitor electrodes from multiwalled carbon nanotubes//Appl. Phys. Lett. -2000. -N 77. -P. 2421.
- Srivastava V. THz vacuum microelectronic devices//J. of Physics: Conference Series. -2008. -V. 114. -N 1.
- Teo K. B. K., Chhowalla M., Amaratunga G. A. J., Milne W. I., Hasko D. G., Pirio G., Legagneux P., Wyczisk F., Pribat D. Uniform patterned growth of carbon nanotubes without surface carbon//Appl. Phys. Lett. -2001. -N 79. -P. 1534.
- Hofmann S., Ducati C., Robertson J., Kleinsorge B. Low-temperature growth of carbon nanotubes by plasma-enhanced chemical vapor deposition//Appl. Phys. Lett. -N 83. -P. 135.
- Shrestha Sabita, Choi Won Chel, Song Wooseok, Kwon Young Taek, Shrestha Shankar Prasad, Park Chong-Yun. Preparation and field emission properties of Er-decorated multiwalled carbon nanotubes//Appl. Phys. Lett. -2001. -N 78, 7. -P. 901-903.
- Han Jae-hee, Yang Won-Suk, Yoo Ji-Beom. Growth and emission characteristics of vertically well-aligned carbon nanotubes grown on glass substrate by hot filament plasma-enhanced chemical vapor deposition//Appl. Phys. Lett. -2000. -N 88, 12. -P. 7363-7365.
