Метрология поверхности полупроводниковых структур
Автор: Устюгов Е.А.
Журнал: Теория и практика современной науки @modern-j
Рубрика: Основной раздел
Статья в выпуске: 12 (54), 2019 года.
Бесплатный доступ
Данная статья посвящена исследованию поверхности полупроводниковых структур. В электронике широко применяются различные полупроводниковые приборы. Их поверхность и свойства играют очень значимую роль в производстве и дальнейшем использовании. Изделие из пластины полупроводника с дефектом - не будет функционировать в полной мере, потому, дабы предотвратить выход бракованных изделий, а умения студентов стали апостериорными, следует проводить комплекс исследований и измерений. Поэтому разработка достаточно простых и надежных методов и приборов, позволяющих контролировать плоскостность полупроводниковых пластин в условиях автоматизированного промышленного производства, является ключевым моментом.
Автоматическое управление, контроль поверхности, полупроводники, плоскостность, метрология
Короткий адрес: https://sciup.org/140274196
IDR: 140274196
Список литературы Метрология поверхности полупроводниковых структур
- Сластенин В.А., Виленский М.Я. Технологии профессионально- ориентированного обучения в высшей школе: учебное пособие для вузов Издание 2 ИД Высшей школы экономики 2005г. 274 стр.
- Метод и установка контроля плоскостности кремниевых пластин. [Текст]: учеб. пособие для вузов / В. А. Пилипенко [и др.] - Минск.: Интеграл, 2010. - 6 с.
- Электротехника [Электронный ресурс] / Классификация оптоэлектронных полупроводниковых приборов - Режим доступа: http://еlеctrоnо.ru/2-1-klassifikaciya-оptоеlеktrоnnyh-pоluprоvоdnikоvyh-pribоrоv-kvant_оpt, свободный. - Загл. с экрана.
- Карпенков С. Х. Технические средства информационных технологий. [Текст] / С. Х. Карпенков - М.- Берлин.: Директ - Медиа, 2015. -376 с.
- Полупроводники [Электронный ресурс]. - Режим доступа: http://hightоlоw.ru/sеmicоnductоrs1.html, свободный. - Загл. с экрана.
