Микрофлюидные чипы из стеклянных материалов
Автор: Евстрапов Анатолий Александрович, Лукашенко Т.А., Рудницкая Г.Е., Буляница А.Л., Курочкин В.Е., Гусев В.С., Иванов О.Г., Беркутова И.Ф., Савицкая А.А.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Приборы микро- и наноисследований
Статья в выпуске: 2 т.22, 2012 года.
Бесплатный доступ
Микрофлюидные чипы являются основой современных аналитических приборов для научных исследований и медицинской диагностики. В статье рассмотрены этапы создания микрофлюидных чипов из стеклянных материалов методами фотолитографии и жидкостного травления с последующей термической герметизацией структур. Исследуется влияние процессов и стадий изготовления на характеристики и свойства получаемых чипов. Обсуждаемые технологии использованы при изготовлении небольших серий микрофлюидных чипов различного назначения.
Микрофлюидный чип, фотолитография, жидкостное травление, микроструктура, герметизация, спектрофотометрия, сканирующая ближнеполевая микроскопия
Короткий адрес: https://sciup.org/14264787
IDR: 14264787
