Модель управления скоростью вытягивания монокристаллов кремния
Автор: Саханский Сергей Павлович, Якобсон Марк Евгеньевич
Журнал: Сибирский аэрокосмический журнал @vestnik-sibsau
Рубрика: Математика, механика, информатика
Статья в выпуске: 5 (31), 2010 года.
Бесплатный доступ
Предложена математическая модель формирования скорости вытягивания на установке выращивания монокристаллов кремния по способу Чохральского, которая позволяет автоматизировать процесс ввода программного задания скорости в микропроцессорную систему управления.
Скорость вытягивания, монокристалл кремния, осевой градиент
Короткий адрес: https://sciup.org/148176345
IDR: 148176345
Статья научная
