Моделирование роста тонких пленок молибдата свинца PbMoO4 распылением ионными пучками

В статье рассмотрен рост тонких пленок молибдата свинца PbMoO4 методом распыления ионными пучками, который имеет ряд преимуществ по сравнению с другими методами: проведение опытов в вакуумных условиях, что значительно влияет на чистоту эксперимента; рабочая камера отделена от области горения разряда, что позволяет контролировать процесс выращивания покрытий. Предложены две методики роста тонких пленок PbMoO4 путем независимого распыления двух мишеней (свинца Pb и молибдена Mo), а также путем распыления мишеней PbO и MoO3 с образованием потоков частиц, падающих на поверхность подложек, где происходит синтез молибдата свинца. Осуществлено моделирование в зависимости от технологических параметров с использованием математической программы MathCad. Предложены оптимальные режимы ростовых процессов.