О новых возможностях метода эллипсометрии, обусловленных "нулевой" оптической схемой. Эллипсометрия реальных поверхностных структур. 13. Обобщение теории инвариантов. О выборе измерительных конфигураций в эллипсометрии анизотропных сред
Автор: Семененко А.И., Семененко И.А.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Обзоры, систематизации, обобщения
Статья в выпуске: 3 т.18, 2008 года.
Бесплатный доступ
В работе теория инвариантов эллипсометрии изотропных сред обобщена на случай произвольных измерительных конфигураций прибора. Исследованы основные свойства инвариантов, проявляющиеся при различных типах конфигураций. Разработан общий подход к выбору измерительных конфигураций прибора, обеспечивающих максимальный эффект в устранении особенностей в обобщенных зонных соотношениях эллипсометрии анизотропных сред. При этом (в принятом приближении) в полной мере использованы свойства инвариантов эллипсометрии изотропных сред. Проанализированы различные типы измерительных конфигураций. В то же время выявлен класс измерительных конфигураций, радикально отличающихся от классической конфигурации, но не устраняющих особенности.
Короткий адрес: https://sciup.org/14264552
IDR: 14264552 | УДК: 535.5.511:
On the new potentials of ellipsometry arising from the null optical circuit. Ellipsometry of real surface structures. 13. Generalization of invariant theory. Selection of measuring configurations in the ellipsometry of anisotropic media
The work generalizes isotrope media ellipsometry invariant theory in case of any measuring configurations of the device. The basic invariant properties appearing at various types of configurations are analyzed. General approach to selection of measuring configurations of the device providing peak effect in elimination of features in extended zone relations of ellipsometry of anisotropic media is developed. Thus (in the accepted approach) properties of invariant ellipsometry of isotropic media are used in full. Various types of measuring configurations are analyzed. At the same time the class of measuring configurations considerably differing from a classical configuration, but not eliminating features is found.
