О новых возможностях метода эллипсометрии, обусловленных "нулевой" оптической схемой. Эллипсометрия реальных поверхностных структур. 13. Обобщение теории инвариантов. О выборе измерительных конфигураций в эллипсометрии анизотропных сред

Автор: Семененко А.И., Семененко И.А.

Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie

Рубрика: Обзоры, систематизации, обобщения

Статья в выпуске: 3 т.18, 2008 года.

Бесплатный доступ

В работе теория инвариантов эллипсометрии изотропных сред обобщена на случай произвольных измерительных конфигураций прибора. Исследованы основные свойства инвариантов, проявляющиеся при различных типах конфигураций. Разработан общий подход к выбору измерительных конфигураций прибора, обеспечивающих максимальный эффект в устранении особенностей в обобщенных зонных соотношениях эллипсометрии анизотропных сред. При этом (в принятом приближении) в полной мере использованы свойства инвариантов эллипсометрии изотропных сред. Проанализированы различные типы измерительных конфигураций. В то же время выявлен класс измерительных конфигураций, радикально отличающихся от классической конфигурации, но не устраняющих особенности.

Еще

Короткий адрес: https://sciup.org/14264552

IDR: 14264552

Статья научная