О новых возможностях метода эллипсометрии, обусловленных "нулевой" оптической схемой. Эллипсометрия реальных поверхностных структур. 18. Метрология "нулевой" эллипсометрии. Об экспериментальной аттестации оптических элементов прибора
Автор: Семененко Альберт Иванович, Семененко И.А., Мельник С.С.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Новые приборные разработки и методики измерений
Статья в выпуске: 2 т.20, 2010 года.
Бесплатный доступ
Работа посвящена обобщению комбинированного подхода к определению параметров компенсатора. Сюда включается обобщение процедуры построения матрицы Джонса неидеального компенсатора, процесса установления измерительной конфигурации прибора, а также связанных с ними юстировочных процедур, предназначенных для определения линейных соотношений между параметрами ρ, ρ1 и ρ2 компенсатора. Показано, что в рамках обобщенного комбинированного подхода не только неоднородность компенсатора, но и погрешности его лимба не играют принципиальной роли. И в этом случае, используя соответствующие процедуры, можно обеспечить нормальную работу прибора. Доказана эквивалентность всех возможных вариантов выбора положений компенсатора при заданной измерительной конфигурации прибора. Проведенный в работе эксперимент наглядно демонстрирует методику практической реализации обобщенного комбинированного подхода.
Эллипсометрия, фазовый компенсатор, матрица джонса, калибровка, инварианты эллипсометрии, межзонный разброс, поляризационные углы
Короткий адрес: https://sciup.org/14264647
IDR: 14264647 | УДК: 535.5.511:
On the new potentials of ellipsometry arising from the null optical circuit. Ellipsometry of real surface structures. 18. Metrology of the null ellipsometry. On experimental evaluation of device optic elements
The work is devoted to the generalization of the combined approach to the definition of the compensator parameters. It includes generalization of Jones procedure for matrix construction of non-ideal compensator, the process of device measuring configuration setting, and also calibrator procedures intended for the determination of linear relations between ρ, ρ1 and ρ2 compensator parameters. It was shown that within the limits of the generalized combined approach not only heterogeneity but also errors of its limb have no principal significance. In this case it is also possible to secure normal work of the devices using proper procedures. Equivalence of all possible variants of compensator position at the given device configuration was proved. The experimental part of the work presents the method of practical use of the generalized combined approach.
