Применение оптических энкодеров в микросканерах СЗМ с большим диапазоном сканирования
Автор: Голубок А.О., Горбенко О.М., Дворецких A.B., Котов В.В., Сапожников И.Д., Фельштын М.Л.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Приборы, исследования, методики
Статья в выпуске: 2 т.19, 2009 года.
Бесплатный доступ
В работе представлена конструкция и результаты исследований пьезосканера с оптическими датчиками линейных перемещений (оптическими энкодерами) для сканирующего зондового микроскопа (СЗМ) с большим диапазоном сканирования. Обсуждаются алгоритмы и приводятся результаты калибровки и линеаризации пьезосканера. Демонстрируется уменьшение влияния термодрейфа на СЗМ-изображение.
Сканирующая зондовая микроскопия, оптические датчики линейных перемещений, микросканер, пьезокерамический элемент, линейность перемещения
Короткий адрес: https://sciup.org/14264593
IDR: 14264593
