Обоснование и практическое приложение методов решения математически некорректной обратной задачи эллипсометрии. 1. О роли угла Брюстера в решении обратной задачи. Общие свойства и выбор комплекса углов падения светового пучка
Автор: Семененко Альберт Иванович, Семененко И.А.
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Поверхность
Статья в выпуске: 4 т.22, 2012 года.
Бесплатный доступ
В работе проведен анализ влияния наборов углов падения светового пучка прибора на характер решения математически некорректной обратной задачи эллипсометрии. Показано, что существование только одного набора углов падения, на котором реализуется правильный предельный переход к идеальной ситуации, и заметный разброс оптимальных значений d opt и n opt параметров пленки по угловым комплексам некоторого множества этих комплексов не является ограничивающим возможности метода фактором. Более того подобные общие свойства угловых комплексов приводят к дополнительным возможностям метода решения математически некорректной обратной задачи. Рассмотрена также роль угла Брюстера в формировании используемых для решения обратной задачи комплексов углов падения.
Эллипсометрия, поляризационные углы, математически некорректная обратная задача, критерий, оптимальное решение, численный эксперимент, сверхтонкая пленка, подложка, оптические постоянные
Короткий адрес: https://sciup.org/14264823
IDR: 14264823 | УДК: 535.5.511:531.7
Feasibility and practical supplement of solution methods for mathematically incorrect inverse problem of ellipsometry. 1. Towards an understanding of Brewster angle for solution of inverse problem. General properties and complex selection of the angles of incidence of light beam
In this work the impact analysis of kits for the angles of incidence of mathematically incorrect inverse problem of ellipsometry. It’s shown that the existence only one kit of the angles of incidence, on which the correct passage to the limit towards the ideal situation is realized, and the noticeable scatter of optimal values d opt and n opt of the film parameters in accordance with the angular complexes of some multitude of these complexes isn’t the factor limiting the method’s possibilities. Besides, the similar general properties of angular complexes lead to the additional possibilities of solution method for the mathematically incorrect inverse problem. The role of Brewster angle in formation used complexes of the angles of incidence for solution of the inverse problem also is considered
