Определение величины колебания расплава и чувствительности при контактном методе управления выращиванием монокристаллов по способу Чохральского

Бесплатный доступ

Предложен контактный метод управления диаметром вытягиваемого монокристаллического слитка из расплава, по способу Чохральского. Величина колебания уровня расплава германия в данном методе составляет 1...2 мкм, что является достаточным для работы системы управления при измерении диаметра кристалла и одновременно для обеспечения стабильных температурных условий роста на фронте кристаллизации кристалла.

Короткий адрес: https://sciup.org/148175142

IDR: 148175142

Статья научная