Определение величины колебания расплава и чувствительности при контактном методе управления выращиванием монокристаллов по способу Чохральского
Автор: Саханский С.П.
Журнал: Сибирский аэрокосмический журнал @vestnik-sibsau
Рубрика: Технологические процессы и материалы
Статья в выпуске: 1 (8), 2006 года.
Бесплатный доступ
Предложен контактный метод управления диаметром вытягиваемого монокристаллического слитка из расплава, по способу Чохральского. Величина колебания уровня расплава германия в данном методе составляет 1...2 мкм, что является достаточным для работы системы управления при измерении диаметра кристалла и одновременно для обеспечения стабильных температурных условий роста на фронте кристаллизации кристалла.
Короткий адрес: https://sciup.org/148175142
IDR: 148175142
Статья научная