Перспектива разработки нового вида молекулярного вакуумного насоса дискового типа

Автор: Мишустин В.А., Шостак Ю.А.

Журнал: Теория и практика современной науки @modern-j

Рубрика: Математика, информатика и инженерия

Статья в выпуске: 5 (23), 2017 года.

Бесплатный доступ

Представлен краткий обзор существующих молекулярных механических вакуумных насосов. Рассмотрена актуальность в новых видах вакуумного оборудования, а именно в новом виде молекулярного вакуумного насоса. Сравнение со схожими конструкциями. Рассмотрена область применения существующих методов расчета.

Вакуум, вакуумный насос, молекулярный вакуумный насос, высокий вакуум, откачная характеристика, вакуумная техника

Короткий адрес: https://sciup.org/140271458

IDR: 140271458

Список литературы Перспектива разработки нового вида молекулярного вакуумного насоса дискового типа

  • Демихов К.Е., Никулин Н.К. Оптимизация высоковакуумных механических насосов. Москва, Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010, 255 с.
  • Chu Y., Hua Z. The statistical theory of turbo-molecular pumps. Adv.YVST,1982, vol. 20 (4), p. 1101-1104
  • Каталог Leybold Vacuum
  • Демихов К.Е., Никулин Н.К., Свичкарь Е.В. Перспективы развития комбинированных турбомолекулярных вакуумных насосов. Инженерный журнал: наука и инновации, 2013, вып. 5. URL: http://engjournal.ru/catalog/machin/vacuum/754.html
  • Gaede W. Die Molekularluftpumpe. Annalen der Physik. 1913. B.41.S. 337-380.
  • Friesen S. Review of Scientific Instruments. 1940. Vol. 11. P. 362
  • Becker W. Deutsches Reich Patent ¹ 10155573 (16/09/1957).
  • Турбомолекулярный насос с однопоточной турбомолекулярной проточной частью: пат. 2490519 Рос. Федерация: МПК F04D19/04 / В. П. Сергеев, Н. И. Козлов; заявитель и патентообладатель ООО "НПФ "Прогресс".- 012118546/06; заявл. 05.05.2012; опубл. 20.08.2013; Бюл. № 23.-13с.
  • Турбомолекулярный вакуумный насос: пат. 2014510 Рос. Федерация: МПК F04D19/04 / Б. В. Харламов; заявитель и патентообладатель Б. В. Харламов; заявл 28.11.1991; опубл. 15.06.1994;.-5с.
  • Вакуумная техника: Справочник/ К.Е.Демихов, Ю.В.Панфилов, Н.К.Никулин и др.: Под общ. ред. К.Е.Демихова, Ю.В.Панфилова. - М.: Машиностроение, 2009. - 590с.
  • К.Е Демихов, А.М. Макаров, Н.К. Никулин, Е.В. Свичкарь, Методика расчета откачной характеристики кинетического высоковакуумного насоса. «Инженерный журнал: наука и инновации» Электронное научно-техническое издание, № 5(17)/2013.
  • Шемарова О.А., Н.К. Никулин. Определение проводимости в молекулярном и переходном режимах течения газа методом частиц в ячейках, «Инженерный журнал: наука и инновации» Электронное научно-техническое издание, № 5(17)/2013.
  • К.Е Демихов, Н.К. Никулин, Е.В. Свичкарь, Расчет течения газа в проточной части молекулярного вакуумного насоса. «Вакуумная техника, материалы и технология». Материалы VIII Международной научно-технической конференции. Под редакцией доктора технических наук, профессора С.Б. Нестерова. М.:НОВЕЛЛА, 2013, с. 111-118.
  • К.Е. Демихов, Н.К. Никулин, Е.В. Свичкарь, Течение газа в спиральном канале молекулярного вакуумного насоса, Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. "Машиностроение", 2012, с. 10-20.
  • Демихов К.Е., Дронов А.В., Н.К. Никулин. Расчет откачных параметров молекулярновязкостного вакуумного насоса. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. "Машиностроение", 2012, с. 3-9.
  • Демихов К.Е., Дронова Т.В., Н.К. Никулин. Исследование возможностей оптимизации откачных характеристик молекулярно-вязкостного вакуумного насоса методами статистического моделирования. Известия высших учебных заведений. Машиностроение. 2012.
  • А.С. Серяков, Н.К. Никулин. Статистическое моделирование процесса перехода молекул газа через межлопаточный канал рабочего колеса ТМН. Пятая российская студенческая научно-техническая конференция «Вакуумная техника и технология», 19-21апреля 2011г.: материалы конференции/М-во образ. и науки РФ, Казан. гос. технол. Ун-т. - Казань: КГТУ, 2011. - 184 с.
  • Г. А. Бёрд, Молекулярная газовая динамика, - М.: Мир, 1981. -319с.
  • В. А. Мишустин, Н. К. Никулин, Ю. А. Шостак. Определение перетеканий газа через торцовый зазор в дисковом вакуумном насосе. Инженерный журнал: Машины и установки, разработка и эксплуатация, 2015, вып.6
  • Свичкарь Е.В. Разработка математической модели процесса откачки газа и метода расчета откачных параметров молекулярно-вязкостного вакуумного насоса в молекулярно-вязкостном режиме течения газа. Диссертация на соискание ученой степени к.т.н МГТУ им Н.Э.Баумана, 2017
  • Свичкарь Е.В., Никулин Н.К. Определение зазора между ротором и статором молекулярно-вязкостного вакуумного насоса с помощью численных методов. Наука и Образование МГТУ им Н.Э.Баумана, 2015, вып.11
  • Kazuaki Nakamura, Aisin Sellki Kabushikl Kalsha. High Vacuum Pump Siegbahn.United States Patent, 1976.
  • Marsbed Hablanian. Molecular Drag Vacuum Pump Siegbahn.United States Patent, 2000.
  • Schofield N.P., Stones I.D., Dowdeswell S., Gas transfer vacuum pump Siegbahn.United States Patent, 2000.
  • Tesla N., Turbine Tesla.United States Patent, 1911.
Еще
Статья научная