Поправка для расчета интенсивности рефлексов при малоугловом рентгеновском исследовании плоских микро и наноэлементов при разных углах наклона
Автор: Дронов Владимир Михайлович
Журнал: Технико-технологические проблемы сервиса @ttps
Рубрика: Методические основы совершенствования проектирования и производства технических систем
Статья в выпуске: 2 (24), 2013 года.
Бесплатный доступ
Проведен анализ геометрии малоуглового рентгеновского эксперимента, который может применяться при исследовании микро и наноэлементов современной техники и электроники. Показана зависимость интенсивности дифракционных максимумов от угла наклона плоской подложки и получена формула их коррекции.
Малоугловой рентгеновский эксперимент, мультислои, наноэлектроника, дифракционные максимумы, мезогенные молекулы
Короткий адрес: https://sciup.org/148186083
IDR: 148186083
Статья научная
