Повышение дифракционной эффективности структур при прямой лазерной записи наклонными пучками: моделирование и эксперимент
Автор: Кирьянов Валерий Павлович, Гурин Никита Андреевич
Журнал: Компьютерная оптика @computer-optics
Рубрика: Дифракционная оптика, оптические технологии
Статья в выпуске: 2 т.47, 2023 года.
Бесплатный доступ
Проведён краткий обзор методов повышения дифракционной эффективности оптических элементов, синтезированных путём прямой лазерной записи. Отмечено, что предложенные ранее методы записи топологии подобных элементов с применением объёмных или поверхностных контурных масок не обеспечивают окончательного решения проблемы повышения дифракционной эффективности. Выполненные модельные и натурные эксперименты по формированию структур рельефно-фазовых оптических элементов путём записи профилей зон с помощью наклонных лазерных пучков показали принципиальную возможность формирования отвесных склонов обратных скатов зон и целесообразность развития данной технологии на основе лазерных генераторов изображений.
Дифракционные оптические элементы, дифракционная эффективность, прямая лазерная запись, оптические технологии
Короткий адрес: https://sciup.org/140297688
IDR: 140297688 | DOI: 10.18287/2412-6179-CO-1161
Список литературы Повышение дифракционной эффективности структур при прямой лазерной записи наклонными пучками: моделирование и эксперимент
- Gale MT, Rossi M, Pedersen J, Schuetz H. Fabrication of continuous-relief micro-optical elements by direct laser writing in photoresists. Opt Eng 1994; 33(1l): 3556-3566.
- Korolkov VP, Nasyrov RK, Shimansky RV. Zone-boundary optimization for direct laser writing of continuous-relief diffractive optical elements. Appl Opt 2006; 45: 53-62.
- Ogusu M, Iwasaki Y. Method of manufacturing diffractive optical elements. US Patent 6930834 of August 16, 2005.
- Korolkov VP. Application of a contour mask to increase the diffraction efficiency of a DOE with a piecewise continuous relief. International Scientific Conference «Sib0ptika-2013», Novosibirsk, SSGA, 2013: 20-24.
- Kiryanov VP, Nikitin VG. Method for direct laser writing of kinoform lenses in thick layers of photosensitive materials such as photoresists (options) [In Russian]. Pat RF of Invent N 2498360 of November 10, 2013.
- Kir'yanov VP, Nikitin VG. Modeling of the formation of steep portions of a piecewise continuous profile in a one-step technology for fabricating diffractive optical elements using oblique laser beams. Optoelectron Instrum Data Process 2017; 53(6): 548-553.
- Kiryanov VP, Kiryanov AV, Korolkov VP. Circular scanning laser imaging generators: new opportunities for traditional directions [In Russian]. In Book: Anniversary collection of selected works of KTI NP SB RAS. Novosibirsk: "Geo" Publisher; 2012: 184-216.
- Maruo S, Jkuta K. Submicron stereo-lithography for the production of freely moveable mechanisms by using single-photon polymerization. Sens Actuator A Phys 2002; 100: 70-76.
- Korolkov VP, Pruss C, Reichelt S, Tiziani HJ. Preliminary results in investigation of diffractive high-efficiency objectives. Computer Optics 2002; 23: 33-39.
- Korolkov VP, Nasyrov RK, Gutman AS, Sametov AR, Sukhikh SA. Optimization of halftone technology for manufacturing diffractive elements with piecewise-continuous relief. 7th Int Conf «Holoexpo-2010», Moscow 2010: 196-202.
- Korolkov VP, Nasyrov RK, Shimansky RV. Optimization for direct laser writing of continuous-relief diffractive optical elements. Proc SPIE 2007; 6732: 67320P. DOI: 10.1117/12.751913.
- Verkhoglyad AG, Zavyalova MA, Kalichkin AE, Kokarev SA, Korolkov VP. Circular laser writing system for fabrication of phase and amplitude microstructures on spherical surfaces. Sensors and Systems 2015; 10: 45-52.
- Bessmeltsev VP, Raldugin AN, Terentiev VS. Development of a multichannel confocal system for studying the surface microprofile. 9th Int Conf «Holoexpo-2012», Suzdal 2012.
