Прогнозирующая модель управления отражающими зеркалами в проекционной оптике безмасочного литографа
Автор: Губин Д.А.
Журнал: Международный журнал гуманитарных и естественных наук @intjournal
Рубрика: Технические науки
Статья в выпуске: 7-1 (94), 2024 года.
Бесплатный доступ
В данной статье рассмотрена нелинейная функция управления отражающими зеркалами, перечислены ее преимущества и недостатки. Рассмотрен метод управления отражающими зеркалами в проекционной оптике безмасочного литографа с использованием модели прогнозирования. Модель прогнозирующего управления может быть реализована на основе дифференциального уравнения, описывающего динамику поворота зеркала. Рассчитано рекуррентное соотношение для расчета прогнозируемого положения зеркала на следующем шаге.
Безмасочный литограф, зеркала, уравнение, модель прогнозирования, метод конечных разностей, управляющее воздействие
Короткий адрес: https://sciup.org/170206026
IDR: 170206026 | DOI: 10.24412/2500-1000-2024-7-1-66-68
Список литературы Прогнозирующая модель управления отражающими зеркалами в проекционной оптике безмасочного литографа
- Салащенко Н.Н., Чхало Н.И., Дюжева Н.А. Безмасочная рентгеновская литография на основе МОЭМС и микрофокусных рентгеновских трубок // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2018. - С. 10-20. EDN: YMTFET
- Дегтярев И., Бабкин В. Безмасочная фотолитография - потребность современного производства // ВЕКТОР высоких технологий. - 2019. - №2 (42). - C. 56-58.
- Салащенко Н.Н., Чхало Н.И., Пестов А.Е., Прохоров К.А., Зорина Е.А., Цыбин О.В. Безмасочная литография с микрозеркальной системой. Оптика и спектроскопия. - 2019. - С. 1013-1018.
- Бабкин В.А., Дегтярев И.Н., Чхало Н.И. Автоматизированная литография с прогнозирующим моделированием // Журнал физики: конференция. - 2019. - Т. 1236. - С. 10-15.
- Омид Тайефе Галехбейги, Адриан Г. Уиллс, Бен С. Раутли и Эндрю Дж. Флеминг. Оптимизация на основе градиента для эффективного планирования в безмасочной литографии // Журнал МикроНаноЛитография. - 2017. - С. 16-25.
- Дольк В. Модель прогнозирующего управления для крупномасштабных термомеханических систем // Магистерский проект в ASML Research Mechatronics & Control. - 2020. - С. 1-5.
- Шрикшана Сасидаран, Харис Раджа. Последние тенденции в управлении моделями с прогнозированием // Международный журнал инновационной науки и исследовательских технологий. - 2022. - С. 249-254.
