Разработка материала для пленочных покрытий оптического приборостроения
Автор: Коваленко Ольга Владимировна
Журнал: Агротехника и энергообеспечение @agrotech-orel
Рубрика: Перспективные проекты
Статья в выпуске: 3 (16), 2017 года.
Бесплатный доступ
Представлены результаты исследования процессов формирования пленок железо-иттриевого граната (ЖИГ) методами ионно-лучевого распыления на подложках галлий-гадолиниевого граната (ГГГ), которые являются эффективными для оптических приборов нового поколения, в том числе и при автоматизации работы сельскохозяйственной техники. Установлено, что послойный анализ пленок имеет переменный элементный состав. Фазовый состав неоднороден по толщине пленок, после напыления структура формируется аморфной. Эффективное применение таких покрытий возможно только при их кристаллическом состании. Для этого разработаны параметры термообработки и ионной имплантации обеспечивающие получение необходимой структуры.
Тонкие пленки, железо-иттриевый гранат, термообработка, ионная имплантация, кристаллическое строение пленки
Короткий адрес: https://sciup.org/14770215
IDR: 14770215
Список литературы Разработка материала для пленочных покрытий оптического приборостроения
- http://www.obrazovanie-ufa.ru/Vuz/SVCh-tehnologii__vo_blago_selskogo_hozyaystva.htm
- Бутрим В.И. Анизотропия и фазовые состояния феррит-гранатовых пленок с разориентированными поверхностями/В.И. Бутрим, С.В. Дубинко, Ю.Н. Мицай//Физика твердого тела. -2003. -Т. 45, Вып. 6. -С. 1052 -1055.
- Meftah A. Electronic sputtering of Gd3Ga5O12 and Y3Fe5O12 garnets: Yield, stoichiometry and comparison to track formation/A. Meftah, W. Assmann, N. Khalfaoui, J.P. Stoquert, F. Studer, M. Toulemonde, C. Trautmann, K.O. Voss//Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. -2011. -B. 269. -P. 955 -958.
- Yshii K. Preparation of stoichiometric YIG films by sputtering ferrites/K.Yshii, Y.Hoshi, M.Naoe, S.Yamanaka.//Proc. Internal. Conf. Kyoto. -1980. -Р. 831 -834.
- Schultes N. Structural properties of sputter deposited iron-garnet from Mossbauer spectroscopy/N. Schultes, H. Schieder, J. Litterst, G. M. Kalvius.//Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. -1982, -Vol. 199, №1-2. -Р. 343 -346.
