Разработка технологии формирования многокомпонентных приборных композиций на основе пористого кремния

Развитие полупроводниковой электроники тесно связано с поиском новых материалов. К таким материалам относятся многокомпонентные электронные приборные композиции на основе пористого кремния, в частности нанокомпозиты на основе пористого кремния. В данной статье была разработана аппаратурно-технологическая схема формирования электронных приборных композиций РсCu/ПК/n-Sі и РсAl/ПК/n- Sі. В статье приведены данные относительно технологической адаптации условий осаждения и отжига образцов. Исследовано влияние отжига на морфологические, электрические, электрофизические свойства полученных композиций. Разработана аппаратурно-технологическая схема формирования электронных приборных композиций РсCu/ПК/n-Sі и РсAl/ПК/n- Sі. Приведены данные относительно технологической адаптации условий осаждения и отжига образцов. Исследовано влияние отжига на морфологические, электрические, электрофизические свойства полученных композиций.