Разработка теоретической модели эффузионной ячейки для термовакуумного испарения алюминия
Автор: Кочетков Д.В., Архипов А.В.
Журнал: Теория и практика современной науки @modern-j
Статья в выпуске: 6-1 (12), 2016 года.
Бесплатный доступ
В статье рассмотрен процесс тигельного испарения алюминия. Проведён анализ возможных вариантов исполнения испарителей. В результате предложен вариант реализации тигля в качестве эффузионной ячейки.
Алюминий, тигель, испарение, вч-нагреватель, эффузионная ячейка
Короткий адрес: https://sciup.org/140269241
IDR: 140269241
Список литературы Разработка теоретической модели эффузионной ячейки для термовакуумного испарения алюминия
- Данилин Б. С. Вакуумное нанесение тонких пленок. М., «Энергия», 1967;
- Данилин Б. С. Вакуумная техника в производстве интегральных микросхем. М., «Энергия», 1972;
- Технология тонких пленок. Под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга. Нью-Йорк, 1970. Пер. с англ. Под ред. М. И. Елинсона, Г. Г. Смолко. Т. 1 М., «Сов. радио», 1977, 664 с.;
- Таблицы физических величин. Справочник. Под ред. акад. И. К. Кикоина. М., Атомиздат, 1976, 1008 с.;
- Архипов А. В. Электродиффузионная надежность тонкопленочных проводников на основе эпитаксиальной пленки алюминия : дисс. на соиск. уч. степени канд. тех. наук: 05.27.01/Архипов Алексей Владимирович. -Санкт-Петербург, 1996 -128 с;
- Ames I. L. H. Kaplan, and P. A. Roland, Rew. Sci. Instr., 1966;
- Thompson, F. E., and J. F. Libsch, SCP Solid State Technol., December, 1965, p. 50
Статья научная
