РЕГУЛИРОВАНИЕ ГИДРОФИЛЬНО-ГИДРОФОБНЫХ СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН
Автор: В. Е. Курочкин, С. В. Мякин, Н. А. Бубис, Л. М. Кузнецов, А. Ю. Шмыков
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Физика и химия приборостроения
Статья в выпуске: 4 т.32, 2022 года.
Бесплатный доступ
Продемонстрирована возможность регулирования гидрофильно-гидрофобных свойств поверхности кремниевых пластин в широких пределах посредством обработки плавиковой кислотой, кислотой Каро и растворами пероксида водорода различной концентрации. Методом измерения краевых углов смачивания и расчета полной, полярной и дисперсионной составляющих поверхностной энергии установлено, что наибольшая гидрофилизация поверхности и увеличение поверхностной энергии кремния достигается при обработке его поверхности кислотой Каро, в то время как при последовательной обработке кислотой Каро и плавиковой кислотой наблюдается максимальная гидрофобизация и снижение поверхностной энергии.
Кремний, поверхностная энергия, гидрофильность, кислота Каро, плавиковая кислота, пероксид водорода
Короткий адрес: https://sciup.org/142235501
IDR: 142235501 | DOI: 10.18358/np-32-4-i310
Список литературы РЕГУЛИРОВАНИЕ ГИДРОФИЛЬНО-ГИДРОФОБНЫХ СВОЙСТВ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН
- 1. Евстрапов А.А. Микрофлюидные чипы для биологических и медицинских исследований // Рос. хим. ж. (Ж. Рос. хим. об-ва им. Д.И. Менделеева). 2011. Т. 55, № 2. С. 99–110. URL: https://elibrary.ru/item.asp?id=16567720
- 2. Manz A., Harrison D.J., Verpoorte E.M.J., Fettinger J.C., Lüdi H., Widmer H.M. Miniaturization of chemical analysis systems – A look into next century's technology or just a fashionable craze? // Chemia. 1991. Vol. 45. P. 103–105. DOI: 10.2533/chimia.1991.103
- 3. Скворцов А.М. Структурирование поверхности монокристаллов кремния в электронной технике // Научнотехнический вестник информационных технологий, механики и оптики. 2005. № 20. URL: https://cyberleninka.ru/article/n/strukturirovaniepoverhnosti-monokristallov-kremniya-v-elektronnoytehnike (дата обращения: 17.07.2022).
- 4. Белостоцкая И.С. Химия кремния. Инфра-М, 2008. 64 с.
- 5. Messina A., Desidero C., De Rossi A., Bachechi F., Sinibaldi M. Capillary electrochromatography on methacrylate based monolithic columns: evaluation of column performance and separation of polyphenols // Chromatographia. 2005. Vol. 62. P. 409–416. DOI: 10.1365/s10337-005-0642-4
- 6. Орлов А.М., Костишко Б.М., Скворцов А.А. Физические основы технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: учебноe пособие. 2-е изд., перераб. и доп. Ульяновск: УлГУ, 2014. 423 с.
- 7. Абдуллин Ф.А., Пауткин В.Е., Печерская Е.А., Печерский А.В. Применение методов селективного травления кремния для оценки качества пластин при изготовлении микромеханических датчиков // Модели, системы, сети в экономике, технике, природе и обществе. 2018. № 1 (25). C. 72–79. URL: https://mss.pnzgu.ru/mss7118
- 8. Щеглов А.А., Шмыков А.Ю., Мальцев В.Г. Целенаправленная регуляция электроосмотического потока для оптимизации капиллярного электрофореза белков // Научное приборостроение. 2003. Т. 13, № 4. С. 22–27. URL: http://iairas.ru/mag/2003/abst4.php#abst2
- 9. Курочкин В.Е., Мякин С.В., Шмыков А.Ю. Синтез слоев диизоционат-сульфополистирола на поверхности кварцевого стекла для изготовления кварцевых капиллярных колонок // Научное приборостроение. 2012. Т. 22, № 4. С. 46–49. URL: http://iairas.ru/mag/2012/abst4.php#abst6
- 10. Shmykov A.Ju., Mjakin S.V., Vasiljeva I.V., Filippov V.N., Vylegzhanina M.E., Sukhanova T.E., Kurochkin V.E. Electron beam initiated grafting of methacryloxypropyltrimethoxysilane to fused silica glass // Applied Surface Science. 2009. Vol. 255, is. 12. P. 6391–6396. DOI: 10.1016/j.apsusc.2009.02.023
- 11. Бодневич К.С., Пожидаев А.И., Комаров Н.В., Ермакова А.С. Особенности химической обработки кремниевых пластин в кислых травителях // Сборник трудов международной конференции "Инновационные подходы к решению технико-экономических проблем". М.: издательство "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники", 2020. С. 70–75.
- 12. Цветков Ю.Б. Процессы и оборудование микротехнологии: Модули 1 и 2: учебное пособие. М.: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2017. 122 с.
- 13. Шмыков А.Ю., Мякин С.В., Бубис Н.А., Кузнецов Л.М., Есикова Н.А., Курочкин В.Е. Оптимизация методов подготовки поверхности каналов микрофлюидных чипов из борсиликатного стекла // Физика и химия стекла. 2020. Т. 46, № 5. С. 490–496. DOI: 10.31857/S013266512005011X
- 14. Красовский А.Н., Мякин С.В., Осмоловская Н.А., Пак В.Г., Сычев М.М., Шмыков А.Ю. Определение краевых углов смачивания и поверхностной энергии полимерных пленок и композитов (методические указания). СПб.: СПбГТИ (ТУ), 2015. 16 с.
- 15. Красовский А.Н., Шмыков А.Ю., Филиппов В.Н., Васильева И.В., Мякин С.В., Осмоловская Н.А., Борисова С.В., Курочкин В.Е. Исследование поверхностных свойств покрытий смеси полистирола и полистиролсульфокислоты на плавленом кварцевом стекле // Научное приборостроение. 2009. Т. 19, № 4. C. 51–58. URL: http://iairas.ru/mag/2009/abst4.php#abst6
- 16. Красовский А.Н., Шмыков А.Ю., Осмоловская Н.А., Мякин С.В., Курочкин В.Е. ИК-спектры и структура поверхности покрытий полистирола и полистиролсульфокислоты на плавленом кварцевом стекле // Научное приборостроение. 2014. Т. 24, № 2. С. 5–15. URL: http://iairas.ru/mag/2014/abst2.php#abst1
