Рентгеновский фотоэлектронный анализ анодных пленок оксида ванадия
Автор: Величко Андрей Александрович, Борисков Петр Петрович, Черемисин Александр Борисович, Стефанович Генрих Болеславович
Журнал: Ученые записки Петрозаводского государственного университета @uchzap-petrsu
Рубрика: Физико-математические науки
Статья в выпуске: 6 (143), 2014 года.
Бесплатный доступ
В статье приведены результаты рентгеновского фотоэлектронного анализа анодных пленок оксида ванадия при воздействии на них плазменного, рентгеновского и ультрафиолетового излучений. Впервые исследована непосредственная (ab invito) восстановительная модификация поверхности пленки метастабильного оксида в вакууме и оценена доля оксидных фаз материала.
Оксиды переходных металлов, оксиды ванадия, рентгеновский фотоэлектронный анализ, модификация
Короткий адрес: https://sciup.org/14751395
IDR: 14751395
Список литературы Рентгеновский фотоэлектронный анализ анодных пленок оксида ванадия
- Величко А. А., Дутиков Д. А., Кулдин Н. А., Кундозерова Т. В., Параничев Д. К., Пергамент А. Л., Путролайнен В. В., Стефанович Г. Б., Черемисин А. Б. Разработка методов микро-и нанолитографии по оксидным пленкам переходных металлов//Ученые записки Петрозаводского государственного университета. Сер. «Естественные и технические науки». 2009. № 11 (105). С. 82-94.
- Ильин А. М., Пергамент А. Л., Стефанович Г. Б., Хахаев А. Д. Лазерно-стимулированная модификация свойств оксидов переходных металлов//Оптика и спектроскопия. 1997. Т. 82. № 1. С. 32-38.
- Одынец Л. Л. Анодные оксидные пленки. Л.: Наука, 1990. 200 с.
- Стефанович Г. Б., Пергамент А. Л., Величко А. А., Стефанович Д. Г., Кул дин Н. А., Борис-к о в П. П. Аморфный оксид ванадия -резист для нанолитографии//Вестник Воронежского государственного технического университета. 2009. Т. 5. № 11. С. 33-38.
- Chudnovskii F. A., Stefanovich G. B. Metal-insulator transition in disordered VO2//J. Solid State Chem. 1992. Vol. 98. P. 137-145.
