Синтез молибдата свинца PbMoO4 распылением Pb и Mo ионными пучками
Автор: Халтанов В.Э.
Журнал: Вестник Бурятского государственного университета. Химия. Физика @vestnik-bsu-chemistry-physics
Статья в выпуске: 2, 2024 года.
Бесплатный доступ
В статье рассмотрен синтез тонких пленок молибдата свинца PbMoO4 методом распыления ионными пучками. Предложена методика роста тонких пленок PbMoO4 путем независимого распыления двух мишеней (свинца Pb и молибдена Mo) с образованием потоков частиц, падающих на поверхность подложек, где происходит синтез молибдата свинца. Предполагается, что данная методика формирования потоков газообразных частиц свинца и молибдена по направлению к подложке с последующим отжигом в атмосфере полученных пленок приведет к формированию стехиометрических тонких пленок молибдата свинца. Осуществлен расчет коэффициентов распыления мишеней пучками ионов аргона Ar+ с использованием математической программы MathCad. Предложены оптимальные режимы ростовых процессов.
Тонкие пленки, молибдат свинца, синтез, ионные пучки, распыление, потоки частиц
Короткий адрес: https://sciup.org/148328730
IDR: 148328730 | DOI: 10.18101/2306-2363-2024-2-29-32
Список литературы Синтез молибдата свинца PbMoO4 распылением Pb и Mo ионными пучками
- Семенов А. П. Пучки распыляющих ионов: получение и применение. Улан-Удэ: Изд-во БНЦ СО РАН, 1999. 208 с. Текст: непосредственный.
- Sigmund P. Theory of sputtering. Phys. Rev. 1969; 184 (2): 383-416.
