Сканирующий микроскоп ионной проводимости с одновременной визуализацией поверхности образца в полуконтактной силовой моде
Автор: Стовпяга А.В., Сапожников И.Д., Голубок Александр Олегович
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Экспериментальные исследования. Новые разработки
Статья в выпуске: 3 т.22, 2012 года.
Бесплатный доступ
Предложен и исследован зондовый датчик для одновременной работы в полуконтактном силовом режиме и в режиме сканирующей микроскопии ионной проводимости (СМИП). Проведено численное моделирование изображения ступеньки на поверхности диэлектрического образца в режиме СМИП. Представлены экспериментальные результаты, полученные при сканировании тестового образца.
Сканирующая зондовая микроскопия, сканирующий микроскоп ионной проводимости, микропипетка
Короткий адрес: https://sciup.org/14264805
IDR: 14264805
Статья научная
