Совмещение системы управления выращиванием монокристаллов германия на основе контактного метода измерения диаметра и одновременного вытягивания монокристалла из фильеры способом Степанова
Автор: Саханский С.П., Лаптенок В.Д.
Журнал: Сибирский аэрокосмический журнал @vestnik-sibsau
Рубрика: Технологические процессы и материалы
Статья в выпуске: 3 (6), 2005 года.
Бесплатный доступ
Разработан контактный метод управления выращиванием монокристаллического слитка из расплава по способу Чохральского с точностью до 0,2 мм. Обосновывается возможность одновременной работы системы контроля диаметра кристалла и вытягивания кристалла из фильеры способом Степанова.
Короткий адрес: https://sciup.org/148175078
IDR: 148175078
Статья научная
