Структура и свойства углеродных пленок, получаемых электронно-лучевым распылением в вакууме
Автор: Троицкий Андрей Александрович, Березин Владимир Михайлович, Лукашев Владимир Сергеевич
Рубрика: Физика
Статья в выпуске: 34 (293), 2012 года.
Бесплатный доступ
Были получены пленочные образцы распыленного в вакууме и осажденного на нагретую стеклянную подложку графита. С помощью атомно-силовой и электронной микроскопии исследована поверхность и элементный состав. Было измерено удельное поверхностное сопротивление пленок и найдена его зависимость от толщины пленки.
Графен, углерод, электронно-лучевое распыление, углеродные пленки, тонкие пленки
Короткий адрес: https://sciup.org/147158715
IDR: 147158715
Список литературы Структура и свойства углеродных пленок, получаемых электронно-лучевым распылением в вакууме
- Wallace P. R. The band theory of graphite/P.R. Wallace//Phys. Rev. -1947. -V. 71, № 9. -P. 622-634.
- Geim A.K. The rise of graphene/A.K. Geim, K.S. Novoselov//Nature Mater. -2007. -V. 6. -P. 183-191.
- Schwierz F. Graphene Transistors/F. Schwierz//Nature Nanotech. -2010. -V. 5. -P. 487-496.
- Field effect in epitaxial graphene on a silicon carbide substrate/Gong Gu, Shu Nie, R.M. Feenstra et al.//Appl. Phys. Lett. -2007. -Vol. 90. -P. 253507.
- Geim A.K. Graphene: Status and Prospects/A.K. Geim//Science. -2009. -V. 324. -P. 1530-1534.
- Williams J.R. Quantum Hall Effect in a Gate-Controlled p-n Junction of Graphene/JR. Williams, L. DiCarlo, C.M. Marcus//Science. -2007. -V. 317. -P. 638-641.
- Wafer-Scale Graphene Integrated Circuit./Yu-Ming Lin, Alberto Valdes-Garcia, Shu-Jen Han et al.//Science. -2011. -V. 332. -P. 1294-1297.
- Dean C.R. Boron nitride substrates for high-quality graphene electronics/C.R. Dean, A.F. Young, I. Eric//Nanotech. -2010. -V. 5. -P. 722-726.
- Novoselov K. Mind the Gap/K.S. Novoselov//Nature Mater. -2007. -V. 6. -P. 720-721.
- Usachov D. Quasifreestanding single-layer hexagonal boron nitride as a substrate for graphene synthesis/D. Usachov,V.K. Adamchuk//Phys. Rev. B -2010. -V. 82. -P. 075415.
- Zhihong Chen Graphene nano-ribbon electronics/Zhihong Chen, Yu-Ming Lin, Michael J. Rooks, Phaedon Avouris//Physica E: Low-dimensional Systems and Nanostructures, -2010. -V. 40. -Issue 2. -P. 228-232.
- Roll-to-roll production of 30-inch graphene films for transparent electrodes/S. Bae, H. Kim, Y. Lee et al.//Nature Nanotechnology. -2010. -Vol. 5. -C. 574-578.
- Nair R.R. Fine Structure Constant Defines Visual Transparency of Graphene/R.R. Nair, P. Blake, A.N. Grigorenko//Science. -2008. -V. 320. -P. 1308.
- Синельников Б.М. Моделирование процессов образования аморфных и кристаллических пленок углерода/Б.М. Синельников, В.А. Тарала//Материалы электрон. техники. -2010. -№ 1. -C. 32-40.
- Васильев В.А. Диффузионная модель роста и морфология поверхностей тонких пленок материалов/В.А. Васильев, П.С. Чернов//Нано-и микросистемная техника. -2011. -№ 11 -С. 11-16.
Статья научная
