The accuracy of the contact method of measuring the current area of the crystals grown by the Czochralski method
Автор: Sahansky Sergey P.
Журнал: Журнал Сибирского федерального университета. Серия: Техника и технологии @technologies-sfu
Статья в выпуске: 8 т.9, 2016 года.
Бесплатный доступ
For crystals grown from a liquid melt using the Czochralski method, under the control of the current area of the crystal on the basis of the contact measurement method, defines the requirements for ensuring the accuracy of measuring the value of 1 %.
Cultivation, crystals, contact measurement method
Короткий адрес: https://sciup.org/146115161
IDR: 146115161 | DOI: 10.17516/1999-494X-2016-9-8-1279-1290
Список литературы The accuracy of the contact method of measuring the current area of the crystals grown by the Czochralski method
- Пат. 2128250 Российская Федерация, МПКС30 В15⁄20, 15/22, 15/26. Способуправления процессом выращивания монокристаллов германия из расплава и устройство для его осуществления/С. П. Саханский, О. И. Подкопаев, В. Ф. Петрик -заявлено 16.01.97, опубл. 27.03.99, Бюл. № 9.
- Пат. 2184803 Российская Федерация, МПК С30 В15⁄20, 15/22, 15/12 29/08. Способ управления процессом выращивания монокристаллов германия из расплава и устройство для его осуществления/С. П. Саханский, О. И. Подкопаев, В. Ф. Петрик, В. Д. Лаптенок -Заявл. 12.11.99, опубл. 10.07.02, Бюл. № 19.
- Sahansky S. P. Control of the shape of semiconductor crystals when grown using the Czochralski method, J/Sib. Fed. Univ. Eng. Technol.,2014, 7(1), 20-31.
- Sahansky S. P. Measurement Square crystals grown from a liquid melt using the Czochralski method, based on the contact of the melt level sensor control circuit conditions, J/Sib. Fed. Univ. Eng. Technol.,2015, 7(8), 835-850.
Статья научная
