Точность контактного метода измерения текущей площади кристаллов, выращиваемых способом Чохральского
Автор: Саханский С.П.
Журнал: Журнал Сибирского федерального университета. Серия: Техника и технологии @technologies-sfu
Статья в выпуске: 8 т.9, 2016 года.
Бесплатный доступ
Для кристаллов, выращиваемых из жидкого расплава по способу Чохральского, при контроле текущей площади кристалла на основе контактного метода измерения определены требования для обеспечения точности измерения величиной 1 %.
Выращивание, кристаллы, контактный метод измерения
Короткий адрес: https://sciup.org/146115161
IDR: 146115161 | DOI: 10.17516/1999-494X-2016-9-8-1279-1290
Статья научная
