Физика. Рубрика в журнале - Труды Московского физико-технического института
Статья научная
Исследован эффект переключения электрической проводимости в МДМструктурах на основе нестехиометрического оксида кремния, химический состав которого контролировался посредством эллипсометрии. Показано, что такой эффект может устойчиво достигаться на атмосферном воздухе. Многократное и воспроизводимое переключение проводимости наблюдается в структурах с SiO 0,66-SiO 0,95. Отношение сопротивлений в высокоомном и низкоомном состояниях составляет 10 4 - 10 5 . Структуры с окислом слабого отклонения от стехиометрии склонны к необратимому электрическому пробою диэлектрика. На основе изложенного делается предположение о двух возможных механизмах эффекта переключения проводимости, связанных с периодическим выстраиванием и разрушением токопроводящих каналов в окисле: с участием избыточных атомов кремния и/или кислородных вакансий.
Бесплатно
