ВЛИЯНИЕ СПЕКЛ-ПОЛЕЙ НА РЕЗУЛЬТАТЫ ИЗМЕРЕНИЙ ПРИ КОНТРОЛЕ ДЕФОРМИРОВАННОЙ ПОВЕРХНОСТИ НИЗКОКОГЕРЕНТНОЙ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ УСТАНОВКОЙ
Автор: Е. Е. Майоров, Г. А. Костин, Н. Е. Баранов
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Физика приборостроения
Статья в выпуске: 1, 2025 года.
Бесплатный доступ
В работе рассмотрены вопросы влияния спекл-полей на формирование амплитуды интерференционного сигнала при контроле деформированной поверхности интерференционной установкой, работающей в низкокогерентном свете. Интерференционные приборы, работающие в низкокогерентном свете, используют источники излучения белого света, суперлюминесцентные диоды, у которых длина когерентности находится в диапазоне от 100 мкм до 1 мкм. Длина когерентности источника излучения является ключевым параметром этих приборов, т.к. чем меньше длина когерентности, тем выше точность измерения микрорельефа поверхности, поэтому данная работа актуальна и перспективна. В статье поставлены цель и задачи исследования, рассмотрены свойства спекл-полей, а также предложен интерференционный метод контроля с применением частичнокогерентного излучения. В процессе эксперимента были проанализированы амплитуда выходного сигнала и выражения для амплитуды интерференционного сигнала, которые позволяют оценить функционирование и изменение параметров, вносимые в оптическую схему измерительной установки.
Экспериментальная интерференционная установка, амплитуда сигнала, длина волны излучения, погрешность измерений, суперлюминесцентное излучение, микрорельеф поверхности, длина когерентности
Короткий адрес: https://sciup.org/142244820
IDR: 142244820
Список литературы ВЛИЯНИЕ СПЕКЛ-ПОЛЕЙ НА РЕЗУЛЬТАТЫ ИЗМЕРЕНИЙ ПРИ КОНТРОЛЕ ДЕФОРМИРОВАННОЙ ПОВЕРХНОСТИ НИЗКОКОГЕРЕНТНОЙ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ УСТАНОВКОЙ
- 1. Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1970. 855 с.
- 2. Креопалова Г.В., Лазарева Н.Л., Пуряев Д.Т. Оптические измерения. М.: Машиностроение, 1987. 264 с.
- 3. Франсон М., Сланский С. Когерентность в оптике / Пер. с франц. под ред. К.С. Шифрина. М.: Наука, 1967. 80 с.
- 4. Ландсберг Г.С. Оптика. М.: Наука, 1976. 926 с.
- 5. Малакара Д. Оптический производственный контроль / Пер. с англ. под ред. А.Н. Соснова М.: Машиностроение, 1985. 340 с.
- 6. Афанасьев В.А. Оптические измерения. М.: Недра, 1968. 263 с.
- 7. Коломийцев Ю.В. Интерферометры. Л.: Машиностроение, 1976. 296 с.
- 8. Ахманов С.А., Дьяков Ю.Е., Чиркин А.С. Введение в статистическую радиофизику и оптику. М.: Наука, 1981. 640 с.
- 9. Майоров Е.Е. Федоренко А.Г., Чабаненко А.В., Хохлова М.В., Гулиев Р.Б., Дагаев А.В. Исследование геометрии освещения в двухлучевых интерферометрах // Известия тульского государственного университета. Технические науки. 2022. Вып. 8. С. 75–80. URL: https://elibrary.ru/item.asp?id=49521599
- 10. Майоров Е.Е. Исследование выходного интерференционного сигнала в фазоизмерительной системе // Сб. докладов Четвертой Всероссийской научной конференции "Моделирование и ситуационное управление качеством сложных систем". 2023. C. 56–60. URL: https://elibrary.ru/item.asp?id=53830560&pff=1
- 11. Майоров Е.Е., Пушкина В.П., Арефьев А.В., Бородянский Ю.М., Дагаев А.В., Гулиев Р.Б. Математическое моделирование интерференционного сигнала на выходе интерферометра для оценки погрешности измерений // Известия тульского государственного университета. Технические науки. 2022. Вып.12. С. 230–234. URL: https://elibrary.ru/item.asp?id=50128366
- 12. Майоров Е.Е. К вопросу о погрешности измерений в сдвиговой интерферометрии // Сб. докладов Четвертой Всероссийской научной конференции "Моделирование и ситуационное управление качеством сложных систем". 2023. C. 61–64.
- URL: https://elibrary.ru/item.asp?id=53830561
- 13. Майоров Е.Е., Арефьев А.В., Бородянский Ю.М., Гулиев Р.Б., Дагаев А.В., Пушкина В.П. Математическое моделирование выходного сигнала при разной геометрии апертур фотоприемников интерференционной системы анализа интерферограмм // Изв. вузов. Приборостроение. 2023. Т. 66, № 4. С. 313–319. DOI: 10.17586/0021-3454-2023-66-4-313-319
- 14. Майоров Е.Е., Черняк Т.А., Костин Г.А. Применение высокочувствительных фотоматериалов на основе галогенидов серебра для исследования влияния отклонений подложек спеклограмм на результаты измерений // Приборы. 2023. № 5 (275). С. 51–54. URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=54266626
- 15. Майоров Е.Е., Бородянский Ю.М., Курлов В.В., Таюрская И.С., Пушкина В.П., Гулиев Р.Б. Пространственное микросканирование поверхности плоскопараллельных стеклянных пластинок интерференционным методом // Изв. вузов. Приборостроение. 2023. Т. 66, № 8. С. 688–695. DOI: 10.17586/0021-3454-2023-66-8-688-695
- 16. Бородянский Ю.М., Майоров Е.Е., Петрова Е.А., Попова Е.В., Курлов В.В., Удахина С.В. Измерение геометрических параметров поверхностей сложной формы низкокогерентной оптической системой // Приборы. 2022. № 5 (263). С. 3–7. URL:
- https://www.elibrary.ru/item.asp?id=48969218
- 17. Майоров Е.Е., Костин Г.А., Курлов В.В., Баранов Н.Е. Исследование динамической поверхности летательного аппарата интерференционным методом // Изв. вузов. Приборостроение. 2024. Т. 67, № 8. С. 722–726. DOI: 10.17586/0021-3454-2024-67-8-722-726
- 18. Майоров Е.Е., Арефьев А.В., Гулиев Р.Б., Пушкина В.П., Дагаев А.В. Исследование низкокогерентного
- интерферометрического зонда при работе в сканирующем режиме измерений // Изв. вузов. Приборостроение. 2024. Т. 67, № 9. С. 790–797. DOI: 10.17586/0021-3454-2024-67-9-790-797
- 19. Майоров Е.Е., Курлов В.В., Арефьев А.В., Пушкина В.П. Оптимизация фотоприемной части интерференционной установки способом параллельной обработки оптических сигналов // ПРИБОРЫ. 2024. № 9. С. 32–35.
- URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id =75155955
- 20. Майоров Е.Е., Жулега И.А., Новиков А.В. Инновационное решение в исследовании поверхности сложной геометрической формы сканирующим интерференционным щупом // Инновационное приборостроение. 2024. Т. 3, № 5. С. 45–50. URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=74497008
