Вторичная электронная эмиссия и методы ее исследования
Автор: Николаев Д.П.
Журнал: Физика волновых процессов и радиотехнические системы @journal-pwp
Статья в выпуске: 2 т.16, 2013 года.
Бесплатный доступ
В статье рассмотрены и приведены физическая и математическая модели процесса вторичной электронной эмиссии – вторичных электронов, вырванных из метала при облучении поверхности металла потоком первичных электронов. Предложен анализ процессов, протекающих в эффективных эмиттерах, при условии облучения сканирующим пучком и выбор необходимых аппаратных и технических средств. Выполнен анализ погрешности измерения коэффициента вторичной электронной эмиссии при различных схемах контроля. Содержатся теоретические обоснования для построения математической модели выхода вторичных электронов из твердого тела под действием падающего на него потока первичных электронов. На основе математической модели, являющейся результатом решения кинетического уравнения, разработан алгоритм расчета коэффициента истинной вторичной электронной эмиссии в зависимости от энергии первичных электронов. Изложена структурная схема автоматизированного программно-технического комплекса, позволяющего измерять коэффициент вторичной электронной эмиссии различных материалов с высокой степенью достоверности.
Вторичная электронная эмиссия, эффективный эмиттер, физическая модель, математическая модель, поверхность мишени, коэффициент вторичной электронной эмиссии, отклоняющая система, электронный луч
Короткий адрес: https://sciup.org/140255802
IDR: 140255802
Secondary electronic emission and methods of its study
In the article physical and mathematical process models of secondary electronic emission of secondary electrons, wrested from hurled when irradiating a surface of metal by the flow of primary electrons are considered. Analysis of processes, running in the efficient emitters at the condition of irradiating by scanning bunch and choice necessary hardware and technical facilities has been offered. It has been considered an inaccuracy of measurement of secondary electronic emission factor under different checking. The theoretical motivations for the building mathematical models of leaving the secondary electrons from the solid-state under the action of falling on it flow of primary electrons are considered. On mathematical models, based on the result of deciding a kinetic equation, an algorithm of calculation of true secondary electronic emission factor depending on energy of primary electrons has been designed. A structured scheme of automated software-technical complex, allowing measure a factor of secondary electronic emission of different material with the high degree of validity are stated.
Список литературы Вторичная электронная эмиссия и методы ее исследования
- Бронштейн И.М., Фрайман Б.С. Вторичная электронная эмиссия. М.: Наука, 1979.
- Справочник по основам электронной техники / Б.С. Герпунский [и др.]. Киев: Высшая школа, 1974.
- Дулин В.Н. Электронные и ионные приборы. Л.: Энергия, 1973.
- Михайлов В.П. Дифференциальные уравнения в частных производных. М.: Наука, 1983.
- Степаненко И.П. Основы микроэлектроники. М.: Сов. радио, 1980.
- Степанов В.Д., Юсов Ю.П., Якушенко Е.А. Основные направления работ по автоматизации измерений и контроля в электронной промышленности // Электронная техника. Серия 8. 1993. Вып. 4. С. 3-6.
- Шульман А.Р., Фридрихов С.А. Вторично-эмиссионные методы исследования твердого тела. М.: Наука, 1977.
- Шульман А.Р., Македонский В.Л. // ЖТФ. 22, 1540 (1952), 352 (1944), 69, 693 (1996).
- Ушеренко А.А., Юрченко В.И. Контрольно-измерительная аппаратура для технологического контроля // Электронная промышленность. 1993. Вып. 9. С. 50.
- Якушенков Ю.Г. Теория и расчет оптико-электронных приборов. М.: Сов. радио, 2000.
- Добрецов Л.Н., Гамаюнова М.В. Эмиссионная электроника. М.: Наука, 1966.
- Щука А.А. Электроника. СПб.: БХВ-Петербург, 2005.
- Фокс Д. Программное обеспечение и его разработка. М.: Мир, 1985.
- Тейер Т., Липов М. Надежность программного обеспечения. М.: Мир, 1981.
