Задание скорости вытягивания при выращивании монокристаллов германия
Автор: Саханскии С.П.
Журнал: Сибирский аэрокосмический журнал @vestnik-sibsau
Рубрика: Технологические процессы и материалы
Статья в выпуске: 3 (20), 2008 года.
Бесплатный доступ
Представлена математическая модель задания скорости вытягивания на установке выращивания монокри-сталлов германия по спосооу Чохралъского, позволяющая автоматизировать процесс ввода программного задания скорости в микропроцессорную систему управления.
Короткий адрес: https://sciup.org/148175678
IDR: 148175678
Статья научная
