Зависимость параметров тонких пленок ITO от условий нанесения
Автор: Лунякина Т.А.
Журнал: Форум молодых ученых @forum-nauka
Статья в выпуске: 5-2 (21), 2018 года.
Бесплатный доступ
В статье рассказывается о тонких пленках ITO, их свойствах, применении и способах получения. На основании различных существующих исследований проведен анализ зависимости основных параметров осаждения пленок ITO от режимов и технологии формирования пленок.
Тонкая пленка, пленка ito, напыление, вакуум, толщина пленки, скорость напыления, режим напыления
Короткий адрес: https://sciup.org/140282751
IDR: 140282751
Список литературы Зависимость параметров тонких пленок ITO от условий нанесения
- Панфилов Ю.В. Нанесение тонких пленок в вакууме / Ю.В. Панфилов // Технологии в электронной промышленности. 2007. № 3.
- Ванюхин К.Д. Технологические особенности формирования прозрачных проводящих контактов из пленки ITO для светодиодов на основе нитрида галлия / К.Д. Ванюхин, Р.В. Захарченко, Н.И. Каргин, Л.А. Сейдман // Материалы электронной техники. 2013. № 2. с. 60-64.
- Марков Л.К. Способ получения пленок ITO с контролируемым значением показателя преломления / Л.К. Марков, И.П. Смирнова, А.С. Павлюченко, М.В. Кукушкин, Д.А. Закгейм, С.И. Павлов // Физика и техника полупроводников. 2016. т. 50, в. 7.
- Крылов П.Н. Оптические свойства пленок ITO, полученных высокочастотным магнетронным напылением с сопутствующей ионной обработкой / П.Н. Крылов, Р.М. Закирова, И.В. Федотова // Физика и техника полупроводников. 2013. т. 47. в. 10.
- Троян П.Е. Прозрачные электропроводящие покрытия с контролируемыми значениями коэффициента пропускания и поверхностного сопротивления / П.Е. Троян, Ю.В. Сахаров, Ю.С. Жидик // Радиотехника и связь. 2014. № 1. с. 99-102.
- Москалев Д.О. Применение пленок ITO и выбор метода их формирования / Д.О. Москалев, Д.Д. Васильев // Студенческая научная весна 2016: Машиностроительные технологии. 2016.
- Амосова Л.П. Магнетронное напыление прозрачных электродов ITO из металлической мишени на холодную подложку / Л.П. Амосова, М.В. Исаев // Журнал технической физики. 2014. т. 84. в. 10. с. 127-132.
- Hadi Askari. Electrical and optical properties of ITO thin films prepared by DC magnetron sputtering for low-emitting coatings / Hadi Askari1, Hamidreza Fallah, Mehdi Askari, Mehdi Charkhchi Mohmmadieyh.
- Смирнова И.П. Оптимизация технологии нанесения тонких пленок ITO, применяемых в качестве прозрачных проводящих контактов светодиодов синего и ближнего ультрафиолетового диапазонов / И.П. Смирнова, Л.К. Марков, А.С. Павлюченко, М.В. Кукушкин, С.И. Павлов // Физика и техника полупроводников. 2014. т. 48. в.1. с. 61-66.
Статья научная
