Автоматизация магнитоэллипсометрических in situ измерений на сверхвысоковакуумном комплексе для синтеза и исследования материалов спинтроники
Автор: Лященко С.А., Варнаков С.Н., Тарасов И.А., Шевцов Д.В., Овчинников С.Г.
Журнал: Сибирский аэрокосмический журнал @vestnik-sibsau
Рубрика: Технологические процессы и материалы
Статья в выпуске: 4 (44), 2012 года.
Бесплатный доступ
Представлены результаты модернизации созданного коллективом авторов магнитоэллипсометрического комплекса. Проведена автоматизация процессов управления аппаратной частью и реализованы алгоритмы обработки сигналов магнитоэллипсометра. Возможности созданной системы были продемонстрированы на примере технологического цикла создания и in situ исследования структурных, оптических и магнитных свойств наноструктуры Fe/SiO 2/Si(100).
Сверхвысоковакуумная технология многослойных нанострутур, спектральная эллипсометрия, эффект керра
Короткий адрес: https://sciup.org/148176895
IDR: 148176895
