Активный метаматериал на основе интегральных НЭМС-структур
Автор: Хартов С.В.
Журнал: Сибирский аэрокосмический журнал @vestnik-sibsau
Рубрика: Математика, механика, информатика
Статья в выпуске: 4 (25), 2009 года.
Бесплатный доступ
Рассмотрен метод получения плотно упакованных наноэлектромеханических систем (НЭМС), основанный на оригинальной комбинации процессов самоорганизации и самосовмещения. Обсуждены функциональность НЭМС-структур, возможные области применения наноматериала, образованного двумерным массивом данных структур. Приведены результаты предварительных экспериментов, реализующих предлагаемую НЭМС-технологию.
Наноэлектромеханические системы (нэмс), углеродные нанотрубки, нэмс-сенсоры, активные наномембраны, активный наноматериал
Короткий адрес: https://sciup.org/148176050
IDR: 148176050
