Изготовление методом лазерной абляции и исследование кремниевого фокусатора излучения терагерцового диапазона с непрерывным дифракционным микрорельефом

Тукмаков Константин Николаевич; Комленок Максим Сергеевич; Павельев Владимир Сергеевич; Кононенко Тарас Викторович; Конов Виталий Иванович; Tukmakov Konstantin Nickolaevich; Komlenok Maxim Sergeevich; Pavelyev Vladimir Sergeevich; Kononenko Taras Viktorovich; Konov Vitaly Ivanovich

doi:10.18287/2412-6179-2018-42-6-941-946

Научные статьи \ Прикладные науки. Медицина. Технология \ Инженерное дело. Техника в целом \ Общее машиностроение. Ядерная технология. Электротехника. Технология машиностроения \ Электротехника

Изготовление методом лазерной абляции и исследование кремниевого фокусатора излучения терагерцового диапазона с непрерывным дифракционным микрорельефом

Тукмаков Константин Николаевич Комленок Максим Сергеевич Павельев Владимир Сергеевич Кононенко Тарас Викторович Конов Виталий Иванович

Журнал: Компьютерная оптика @computer-optics

Рубрика: Дифракционная оптика, оптические технологии

Статья в выпуске: 6 т.42, 2018 года.

Бесплатный доступ

Разработан и успешно применен метод высокочастотной лазерной абляции с использованием двухкоординатного сканатора луча для создания дифракционного оптического элемента терагерцового диапазона с непрерывным микрорельефом. Приведены результаты исследования микрорельефа полученного кремниевого фокусатора Гауссова пучка в квадратную область.

дифракционный оптический элемент \ лазер на свободных электронах \ терагерцовое излучение \ лазерная абляция

Похожие статьи в разделе Электротехника

Сухое травление поликристаллических алмазных пленок

Волков А.В., Казанский Н.Л., Костюк Г.Ф., Павельев В.С.

Исследование алмазной дифракционной цилиндрической линзы

Кононенко В.В., Конов В.И., Пименов С.М., Прохоров А.М., Казанский Н.Л., Павельев В.С., Сойфер В.А.

Фокусировка излучения новосибирского лазера терагерцового диапазона (NovoFEL) в соосный отрезок

Агафонов Андрей Николаевич, Володкин Борис Олегович, Павельев Владимир Сергеевич, Тукмаков Константин Николаевич, Кавеев Андрей Камильевич, Качалов Денис Георгиевич, Князев Борис Александрович, Кропотов Григорий Иванович, Чопорова Юлия Юрьевна

Кремниевая оптика для фокусировки лазерного излучения терагерцевого диапазона в заданные двумерные области

Агафонов Андрей Николаевич, Володкин Борис Олегович, Волотовский Сергей Геннадьевич, Кавеев Андрей Камильевич, Князев Борис Александрович, Кропотов Григорий Иванович, Тукмаков Константин Николаевич, Павельев Владимир Сергеевич, Цыганкова Екатерина Владимировна, Цыпишка Дмитрий Иванович, Чопорова Юлия Юрьевна

Острая фокусировка лазерного излучения с помощью двухзонного аксиального микроэлемента

Хонина Светлана Николаевна, Савельев Дмитрий Андреевич, Устинов Андрей Владимирович

Особенности дифракции гауссовых пучков в ближней зоне при изменении высоты кремниевых субволновых оптических элементов

Савельев Д.А.

Короткий адрес: https://sciup.org/140238465

IDS: 140238465 | DOI: 10.18287/2412-6179-2018-42-6-941-946

A continuous-profile diffractive focuser for terahertz radiation fabricated by laser ablation of silicon

A method of high-frequency laser ablation using a two-coordinate beam scanner for the fabrication of a diffractive element of terahertz range with a continuous profile has been developed and successfully applied. Results of the characterization of the fabricated microrelief of a silicon focuser of a Gaussian beam into a square region are presented.

Список литературы Изготовление методом лазерной абляции и исследование кремниевого фокусатора излучения терагерцового диапазона с непрерывным дифракционным микрорельефом

Kulipanov, G.N. Novosibirsk free electron laser-facility description and recent experiments/G.N. Kulipanov, E.G. Bagryanskaya, E.N. Chesnokov, Yu.Yu. Choporova, V.V. Gerasimov, Ya.V. Getmanov, S.L. Kiselev, B.A. Knyazev, S.E. Peltek, V.M. Popik, T.V. Salikova, M.A. Scheglov, S.S. Seredniakov, O.A. Shevchenko, A.N. Skrinsky, S.L. Veber, N.A. Vinokurov//IEEE Transactions on Terahertz Science and Technology. -2015. -Vol. 5, Issue 5. -P. 798-809. - DOI: 10.1109/TTHZ.2015.2453121
Walsby, E.D. Multilevel silicon diffractive optics for terahertz waves/E.D. Walsby, S. Wang, J. Xu, T. Yuan, R. Blaikie, S.M. Durbin, X.-C. Zhang, D.R.S. Cumming//Journal of Vacuum Science & Technology B. -2002. -Vol. 20, Issue 6. -2780. - DOI: 10.1116/1.1518021
Furlan, W.D. 3D printed diffractive terahertz lenses/W.D. Furlan, V. Ferrando, J.A. Monsoriu, P. Zagrajek, E. Czerwinska, M. Szustakowski//Optics Letters. -2016. -Vol. 41, Issue 8. -P. 1748-1751. - DOI: 10.1364/OL.41.001748
Агафонов, А.Н. Кремниевые дифракционные оптические элементы для мощного монохроматического терагерцового излучения/А.Н. Агафонов, Б.О. Володкин, А.К. Кавеев, Б.А. Князев, Г.И. Кропотов, В.С. Павельев, В.А. Сойфер, К.Н. Тукмаков, Е.В. Цыганкова, Ю.Ю. Чопорова//Автометрия. -2013. -Т. 49, № 2. -С. 98-105.
Knyazev, B.A. Real-time imaging using a high-power monochromatic terahertz source: Comparative description of imaging techniques with examples of application/B.A. Knyazev, V.S. Cherkassky, Yu.Yu. Choporova, V.V. Gerasimov, M.G. Vlasenko, M.A. Dem’yanenko, D.G. Esaev//Journal of Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves. -2011. -Vol. 32, Issue 10. -P. 1207-1222. - DOI: 10.1007/s10762-011-9773-x
Дифракционная компьютерная оптика/Д.Л. Головашкин, Л.Л. Досколович, Н.Л. Казанский, В.В. Котляр, В.С. Павельев, Р.В. Скиданов, В.А. Сойфер, С.Н. Хонина; под ред. В.А. Сойфера. -М.: Физматлит, 2007. -736 с. -ISBN: 5-9221-0845-4.
Агафонов, А.Н. Кремниевая оптика для фокусировки лазерного излучения терагерцового диапазона в заданные двумерные области/А.Н. Агафонов, Б.О. Володкин, С.Г. Волотовский, А.К. Кавеев, Б.А. Князев, Г.И. Кропотов, В.С. Павельев, К.Н. Тукмаков, Е.В. Цыганкова, Д.И. Цыпишка, Ю.Ю. Чопорова//Компьютерная оптика. -2013. -Т. 37, № 4. -С. 464-470.
Комленок, М.С. Создание линзы Френеля терагерцевого диапазона с многоуровневым микрорельефом методом фемтосекундной лазерной абляции/М.С. Комленок, Б.О. Володкин, Б.А. Князев, В.В. Кононенко, Т.В. Кононенко, В.И. Конов, В.С. Павельев, В.А. Сойфер, К.Н. Тукмаков, Ю.Ю. Чопорова//Квантовая электроника. -2015. -Т. 45, № 10. -С. 933-936.
Minkevičius, L. Terahertz multilevel phase Fresnel lenses fabricated by laser patterning of silicon/L. Minkevičius, S. Indrišiūnas, R. Šniaukas, B. Voisiat, V. Janonis, V. Tamošiūnas, I. Kašalynas, G. Račiukaitis, G. Valušis//Optics Letters. -2017. -Vol. 42, Issue 10. -P. 1875-1878. - DOI: 10.1364/OL.42.001875
Zeng, X. Experimental investigation of ablation efficiency and plasma expansion during femtosecond and nanosecond laser ablation of silicon/X. Zeng, X.L. Mao, R. Greif, R.E. Russo//Applied Physics A. -2005. -Vol. 80, Issue 2. -P. 237-241. - DOI: 10.1007/s00339-004-2963-9
Duparré, M. Investigation of computer-generated diffractive beam shapers for flattening of single-modal CO2 laser beams/M. Duparré, M.A. Golub, B. Lüdge, V.S. Pavelyev, V.A. Soifer, G.V. Uspleniev, S.G. Volotovskii//Applied Optics. -1995. -Vol. 34, Issue 14. -P. 2489-2497. - DOI: 10.1364/AO.34.002489
Pavelyev, V.S. Fabrication of high-effective silicon diffractive optics for the terahertz range by femtosecond laser ablation/V.S. Pavelyev, M.S. Komlenok, B.O. Volodkin, B.A. Knyazev, T.V. Kononenko, V.I. Konov, V.A. Soifer, Yu.Yu. Choporova//Physics Procedia. -2016. -Vol. 84. -P. 170-174. - DOI: 10.1016/j.phpro.2016.11.030
Her, T.H. Microstructuring of silicon with femtosecond laser pulses/T.H. Her, R.J. Finlay, C. Wu, S. Deliwala, E. Mazur//Applied Physics Letters. -1998. -Vol. 73, Issue 12. -1673. - DOI: 10.1063/1.122241
Sánchez, F. Characterization of the progressive growth of columns by excimer laser irradiation of silicon/F. Sánchez, J.L. Morenza, V. Trtik//Applied Physics Letters. -1999. -Vol. 75, Issue 21. -3303 (5 p.). - DOI: 10.1063/1.125332
Bonse, J. Femtosecond laser ablation of silicon-modification thresholds and morphology/J. Bonse, S. Baudach, J. Krüger, W. Kautek, M. Lenzner//Applied Physics A. -2002. -Vol. 74, Issue 1. -P. 19-25. - DOI: 10.1007/s003390100893

Еще