Модель управления температурой при выращивании кремния
Автор: Саханский Сергей Павлович, Баркин Сергей Михайлович
Журнал: Сибирский аэрокосмический журнал @vestnik-sibsau
Рубрика: Авиационная и ракетно-космическая техника
Статья в выпуске: 3 (29), 2010 года.
Бесплатный доступ
Предложена математическая модель формирования задания температуры на установке выращивания монокристаллов кремния по способу Чохральского, которая позволяет автоматизировать процесс его ввода в микропроцессорную систему управления установкой
Модель, температура, выращивание, монокристалл, кремний
Короткий адрес: https://sciup.org/148176222
IDR: 148176222
Статья обзорная
