Моделирование газодинамического интерфейса для масс-спектрометрического источника ионов со скользящим разрядом для элементного анализа диэлектриков

В работе предлагается использовать квадрупольную столкновительную ячейку в качестве газодинамического интерфейса для источника ионов со скользящим разрядом для элементного анализа диэлектриков. Это позволит уменьшить ширину энергетического распределения ионов на выходе источника и использовать источник в составе масс-спектрометров низкого разрешения. Были произведены экспериментальные оценки ширины энергораспределения ионов на выходе источника со скользящим разрядом. Результаты измерений использованы при построении расчетной модели изготовленного экспериментального образца источника ионов с газодинамическим интерфейсом. С помощью этой модели произведены расчеты электрических полей в источнике, рассчитаны энергораспределения ионов на выходе интерфейса с учетом столкновений и найдены условия, при которых ширина энергораспределения уменьшается до 2÷3 эВ. В результате выбран оптимальный режим напуска газа в столкновительную ячейку и параметры питающего высокочастотного напряжения, которые необходимо реализовать в источнике ионов.