Обзор конструкций турбомолекулярных насосов с различными типами молекулярных ступеней
Автор: Шостак Ю.А., Мишустин В.А., Никулин Н.К.
Журнал: Теория и практика современной науки @modern-j
Рубрика: Математика, информатика и инженерия
Статья в выпуске: 5 (23), 2017 года.
Бесплатный доступ
В статье рассматриваются различные конструкции существующих турбомолекулярных насосов. Приведены конструкции комбинированных турбомолекулярных насосов с молекулярными ступенями различных типов. Приведены примеры конструкций с молекулярной ступенью Геде, Хольвека, Зигбана и вихревой ступенью. Отмечены перспективы развития турбомолекулярных насосов и сформулированы направления развития.
Вакуумный насос, турбомолекулярный насос, молекулярный насос, насос геде, насос хольвека, насос зигбана, молекулярный режим
Короткий адрес: https://sciup.org/140271466
IDR: 140271466
Список литературы Обзор конструкций турбомолекулярных насосов с различными типами молекулярных ступеней
- Демихов К.Е., Никулин Н.К. Оптимизация высоковакуумных механических насосов. Москва, Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010, 255 с.
- Chu Y., Hua Z. The statistical theory of turbo-molecular pumps. Adv.YVST,1982, vol. 20 (4), p. 1101-1104
- Каталог Leybold Vacuum
- Демихов К.Е., Никулин Н.К., Свичкарь Е.В. Перспективы развития комбинированных турбомолекулярных вакуумных насосов. Инженерный журнал: наука и инновации, 2013, вып. 5. URL: http://engjournal.ru/catalog/machin/vacuum/754.html
- Gaede W. Die Molekular luft pumpe. Annalen der Physik. 1913. B.41.S. 337-380.
- Friesen S. Review of Scientific Instruments. 1940. Vol. 11. P. 362
- Becker W. Deutsches Reich Patent ¹ 10155573 (16/09/1957).
- Турбомолекулярный насос с однопоточной турбомолекулярной проточной частью: пат. 2490519 Рос. Федерация: МПК F04D19/04 / В. П. Сергеев, Н. И. Козлов; заявитель и патентообладатель ООО "НПФ "Прогресс".- 012118546/06; заявл. 05.05.2012; опубл. 20.08.2013; Бюл. № 23.-13с.
- Турбомолекулярный вакуумный насос: пат. 2014510 Рос. Федерация: МПК F04D19/04 / Б. В. Харламов; заявитель и патентообладатель Б. В. Харламов; заявл 28.11.1991; опубл. 15.06.1994;.-5с.
- Демихов К. Е., Панфилов Ю. В., Никулин Н. К. и др. Вакуумная техника: Справочник/: Под общ. ред. Демихова К. Е., Панфилова Ю. В. - М.: Машиностроение, 2009. - 590с.
- Демихов К.Е., Макаров А.М., Никулин Н.К., Свичкарь Е.В., Методика расчета откачной характеристики кинетического высоковакуумного насоса. «Инженерный журнал: наука и инновации» Электронное научно-техническое издание, № 5(17)/2013.
- Мишустин В. А., Н. К. Никулин, Шостак Ю. А. Определение перетеканий газа через торцовый зазор в дисковом вакуумном насосе. Инженерный журнал: Машины и установки, разработка и эксплуатация, 2015, вып.6
