Обзор конструкций турбомолекулярных насосов с различными типами молекулярных ступеней
Автор: Шостак Ю.А., Мишустин В.А., Никулин Н.К.
Журнал: Теория и практика современной науки @modern-j
Рубрика: Математика, информатика и инженерия
Статья в выпуске: 5 (23), 2017 года.
Бесплатный доступ
В статье рассматриваются различные конструкции существующих турбомолекулярных насосов. Приведены конструкции комбинированных турбомолекулярных насосов с молекулярными ступенями различных типов. Приведены примеры конструкций с молекулярной ступенью Геде, Хольвека, Зигбана и вихревой ступенью. Отмечены перспективы развития турбомолекулярных насосов и сформулированы направления развития.
Вакуумный насос, турбомолекулярный насос, молекулярный насос, насос геде, насос хольвека, насос зигбана, молекулярный режим
Короткий адрес: https://sciup.org/140271466
IDR: 140271466
Review of constructions of turbomolecular pumps with various types of molecular steps
In the article various designs of existing turbomolecular pumps are considered. Designs of hybrid turbomolecular pumps with molecular stages of various types are presented. Examples of constructions with the molecular step of Gede, Holvek, Siegbahn, and the vortex step are given. Prospects for the development of turbomolecular pumps are outlined and directions for development are formulated.
Список литературы Обзор конструкций турбомолекулярных насосов с различными типами молекулярных ступеней
- Демихов К.Е., Никулин Н.К. Оптимизация высоковакуумных механических насосов. Москва, Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010, 255 с.
- Chu Y., Hua Z. The statistical theory of turbo-molecular pumps. Adv.YVST,1982, vol. 20 (4), p. 1101-1104
- Каталог Leybold Vacuum
- Демихов К.Е., Никулин Н.К., Свичкарь Е.В. Перспективы развития комбинированных турбомолекулярных вакуумных насосов. Инженерный журнал: наука и инновации, 2013, вып. 5. URL: http://engjournal.ru/catalog/machin/vacuum/754.html
- Gaede W. Die Molekular luft pumpe. Annalen der Physik. 1913. B.41.S. 337-380.
- Friesen S. Review of Scientific Instruments. 1940. Vol. 11. P. 362
- Becker W. Deutsches Reich Patent ¹ 10155573 (16/09/1957).
- Турбомолекулярный насос с однопоточной турбомолекулярной проточной частью: пат. 2490519 Рос. Федерация: МПК F04D19/04 / В. П. Сергеев, Н. И. Козлов; заявитель и патентообладатель ООО "НПФ "Прогресс".- 012118546/06; заявл. 05.05.2012; опубл. 20.08.2013; Бюл. № 23.-13с.
- Турбомолекулярный вакуумный насос: пат. 2014510 Рос. Федерация: МПК F04D19/04 / Б. В. Харламов; заявитель и патентообладатель Б. В. Харламов; заявл 28.11.1991; опубл. 15.06.1994;.-5с.
- Демихов К. Е., Панфилов Ю. В., Никулин Н. К. и др. Вакуумная техника: Справочник/: Под общ. ред. Демихова К. Е., Панфилова Ю. В. - М.: Машиностроение, 2009. - 590с.
- Демихов К.Е., Макаров А.М., Никулин Н.К., Свичкарь Е.В., Методика расчета откачной характеристики кинетического высоковакуумного насоса. «Инженерный журнал: наука и инновации» Электронное научно-техническое издание, № 5(17)/2013.
- Мишустин В. А., Н. К. Никулин, Шостак Ю. А. Определение перетеканий газа через торцовый зазор в дисковом вакуумном насосе. Инженерный журнал: Машины и установки, разработка и эксплуатация, 2015, вып.6
