Обзор методов измерения малых перемещений в приложении системы автоматического регулирования сканеров СЗМ
Автор: Михайлов М.А., Манойлов Владимир Владимирович
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Методы измерений
Статья в выпуске: 2 т.23, 2013 года.
Бесплатный доступ
В статье производится анализ существующих современных датчиков перемещения для создания системы автоматического регулирования сканера СЗМ. Также анализируются методы получения информационного сигнала и рассчитываются граничные условия параметров конструкции выбранного датчика.
Датчики перемещения, сканирующая зондовая микроскопия, сзм, емкостные датчики перемещения
Короткий адрес: https://sciup.org/14264855
IDR: 14264855
Статья научная
