Обзор методов измерения малых перемещений в приложении системы автоматического регулирования сканеров СЗМ
Автор: Михайлов М.А., Манойлов Владимир Владимирович
Журнал: Научное приборостроение @nauchnoe-priborostroenie
Рубрика: Методы измерений
Статья в выпуске: 2 т.23, 2013 года.
Бесплатный доступ
В статье производится анализ существующих современных датчиков перемещения для создания системы автоматического регулирования сканера СЗМ. Также анализируются методы получения информационного сигнала и рассчитываются граничные условия параметров конструкции выбранного датчика.
Датчики перемещения, сканирующая зондовая микроскопия, сзм, емкостные датчики перемещения
Короткий адрес: https://sciup.org/14264855
IDR: 14264855 | УДК: 681.2-5
The overview of measure methods of slight displacements in the application of the automatic regulation system of scanners of scanning probe microscopes
In the article there is an analysis of present modern movement sensors for creation of the automatic control of the scanner of scanning probe microscopes system. Moreover, the receiving information signal methods are analyzed; the boundary conditions of the design parameters of the selected and matched sensor are estimated as well.
