Применение технологий автоматизации для повышения эффективности лазерной подгонки пленочных резисторов

Автор: Новиков И.В., Никонов Э.Г.

Журнал: Сетевое научное издание «Системный анализ в науке и образовании» @journal-sanse

Статья в выпуске: 4, 2023 года.

Бесплатный доступ

В данной статье представлен разрабатываемый алгоритм повышения степени автоматизации для получения большей эффективности подгонки разрабатываемых пленочных резисторов. Данный алгоритм включает в себя сбор и анализ данных, прогнозирование и принятие решений. Использование данного алгоритма позволит снизить затраты на контроль технологического процесса подгонки, повысит качество лазерной подрезки. Приведены примеры существующих алгоритмов работы лазерной подгонки, существующие решения алгоритмов автоматизации и текущие проблемы в данной задаче.

Лазерная подгонка, автоматизация технологических процессов, плёночные резистивные элементы, производство

Короткий адрес: https://sciup.org/14129955

IDR: 14129955

Список литературы Применение технологий автоматизации для повышения эффективности лазерной подгонки пленочных резисторов

Кондрашов В. В. Задача автоматизации процесса лазерной подгонки плёночных резистивных элементов // Вестник Саратовского государственного технического университета. – 2012. – № 1. Вып. 2. – С. 207-214.
Schimmanz K. Film resistor design for high precision laser trimming / K. Schimmanz, S. M. Jacobsen // Preprint BTU-Cottbus M-02/02, Germany. – 2002.
Kost A. Numerische Methoden in der Berechnung elektromagnetischer Felder // Springer Verlag, Berlin. – 1994.
Schimmanz K. BEM simulation of laser trimmed hybrid IC resistors / K. Schimmanz, A. Kost // Int. J. of Applied Electromagnetics and Mechanics. – vol. 19, no. 1-4. – 2004. – P. 253-256.
Вейко В. П. Лазерные технологии в микроэлектронике / В. П. Вейко, С. М. Метев. – Изд. Болгарской АН, София, 1991.
Вейко В. П. Расчёт толщины прогретого слоя в подложке при лазерном нагревании тонких плёнок / В. П. Вейко, Е. А. Тучкова, Б. М. Юркевич // Физика и химия обработки материалов, 1982. – № 3. – С. 21-24.
Ramirez-Angulo J. Improvement of Laser Trimmed Film Resistor Stability by Selection of Optimal Trim Paths / J. Ramirez-Angulo; R. Wang; R. L. Geiger// IEEE International Symposium on Circuits and Systems. – 1991. – Vol. 4/5 VLSI Design and CAD. – DOI: 10.1109/ISCAS.1991.176727.
Ramirez-Angulo J. New laser-trimmed film resistor structures for very high stability requirements / J. Ramirez-Angulo, R.L. Geiger // IEEE Trans on Electron Devices. – 1988. – vol. 35, no. 4. – P. 516-518. DOI: 10.1109/16.2487.
Sandborn P. The Economics of Embedded Passives // Integrated Passive Component Technology, R. Ulrich and L. Schaper editors, IEEE Press. – 2003. Р. 327 – 359. DOI: 10.1002/9780471722939.ch13.
Sandborn P. A Comparison of Routing Estimation Methods for Microelectronic Modules / P. Sand-born, P. Spletter // Microelectronics International. – 1999. – P. 36-41.
Sandborn P. A. M. Using embedded resistor emulation and trimming to demonstrate measurement methods and associated engineering model development / P.A.M. Sandborn, P.A. Sandborn // Inter-national Journal of Engineering Education. – 2007. – vol. 23, no. 4.
Wang J. Thin film embedded resistors / J. Wang, S. Clouser // Proc. IPC Expo. – 2001. – P. S08-1-1.
Антонов Ю. Н. Автоматизация проектирования подгоночных траекторий коррекции плёночных резисторов гибридных интегральных схем: дисс. ... канд. техн. наук: 05.13.12 / Антонов Юрий Николаевич. – Ульяновск, 1999. – 118 с.
Антонов Ю. Н. Допусковый контроль резистивных элементов и идентификация плат гибридных интегральных схем с помощью нечеткой экспертной системы // Известия Самарского научного центра РАН.  2006.  Том. 8.  № 4(18).  С. 10611066.
Антонов Ю. Н. Принципы построения модели анализа качества элементов топологии в процессе лазерной подгонки // Микроэлектроника в машиностроении: материалы международной научно-технической конференции (Ульяновск, 11-12 марта 1992 г.). – Ульяновск: НПК УЦМ. – 1992. – С. 66-67.
Антонов Ю. Н. Программное обеспечение автоматизированной установки лазерной подгонки резисторов / Ю. Н. Антонов, К. И. Вершинин, В. М. Николаев // Приборы и системы управления.– 1991. – №. 8. – С. 17.
Антонов Ю. Н. Разработка концепции модели лазерной подгонки // Труды международной научно-технической конференции ПИТ-2015. Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П.Королёва. – 2015. – С. 211-214.
Антонов Ю. Н. Разработка проекта нормирования точности сопротивления резисторов гибридных интегральных схем методом лазерной подгонки // Радиотехника и электроника. – 2006. – Т.51. – №12. – С. 1436-1440.
Использование метода конечных элементов для расчёта парциального распределения ёмкости микрополосковой линии / М. Г. Рубанович, Д. В. Вагин, В. А. Хрусталев [и др.] // Доклады Томского государственного университета систем управления и радиоэлектроники. – 2014. – № 3 (33). – С. 75-84.
Матричный метод расчёта индуктивных параметров эквивалентной схемы плёночного резистора / М. Г.Рубанович, В. П. Разинкин, Ю. В. Востряков [и др.] // Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника. – 2008. – Т. 3. – С. 70-76.
Математическая модель электромагнитных процессов в планарных плёночных резисторах / М. Г. Рубанович, А. П. Горбачев, Ю. В. Востряков, В. П. Разинкин // Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника. – 2003. – Т. 3. – С. 61-70.
Бавыкин, Б. Моделирование и настройка многономинальных чип-резисторов меандрового типа / Б. Бавыкин, И. Воробьёв, В. Бугров // Компоненты и технологии. – 2016. – Т. 2. – № 175. – С. 115-120.
Садков, В. Д. Сопротивление низкоомного плёночного резистора / В. Д. Садков, А. В. Лопаткин // Нано- и микросистемная техника. – 2015. – № 9 (182). – С. 49-56.
Садков, В. Д. Определение распределения электрического сопротивления в токопроводящей плёнке методом томографии / В. Д. Садков, А. В. Лопаткин // Труды НГТУ им. Р.Е. Алексеева. – 2015. – № 3 (110). – С. 22-33.
Кондрашов В. В. Управление процессом лазерной подгонки пленочных резистивных элементов на основе сеточной схемной модели токопроводящей среды: дисс. …канд. техн. наук: 05.13.01 /Владимир Владимирович Кондрашов. – Тула, 2016. – 207 с.

Еще

Статья научная