Проблема разрушения проводящих тонкопленочных структур в интегральных микросхемах под воздействием СВЧ-излучения
Автор: Морозов С.И., Иванов Р.А.
Журнал: Международный журнал гуманитарных и естественных наук @intjournal
Рубрика: Технические науки
Статья в выпуске: 1-1 (52), 2021 года.
Бесплатный доступ
В статье рассматривается проблема разрушаемости проводящих тонкопленочных структур под воздействием сверхвысокочастотного электромагнитного излучения. Проведен ряд исследований по воздействию СВЧ излучения на металлодиэлектрические структуры с гибкими подложками из лавсана и фторопласта, и напылением алюминия толщиной от 10 до 30 нанометров. Результаты исследований показали процесс деградации пленочного напыления, а также термического разрушения подложек под воздействием электромагнитного излучения. Так же был проведен сравнительный анализ полученных экспериментальных данных.
Металлодиэлектрическая структура, деградация пленок, тепловой пробой, волновод, прожег структуры
Короткий адрес: https://sciup.org/170188165
IDR: 170188165 | DOI: 10.24411/2500-1000-2021-1045
Список литературы Проблема разрушения проводящих тонкопленочных структур в интегральных микросхемах под воздействием СВЧ-излучения
- Thin Solid Films / I.H. Kazi [at al.] - 2003. - Vol. 433. - P. 337-343
- Wong K.L. Effects of electromagnetic interference for electromagnetic pulses incident on microstrip circuits // IEEE Proceedings. - 1990. - Vol. 137, №1. - P. 75-77.
- Арсеничев С.П. Дифракция электромагнитного излучения на тонких проводящих пленках металлодиэлектрических структур в прямоугольном волноводе / С.П. Арсеничев [и др.] // Электромагнитные волны и электронные системы. - 2017. - Т. 22, № 2. - C. 48-53.
- Повреждения интегральных микросхем в полях радиоизлучения / Ю.А. Пирогов, А.В. Солодов / Журнал радиоэлектроники. - 2013. - №6. - С. 3.
- Ключник А.В. Исследование стойкости интегральных микросхем в электромагнитных полях импульсного радиоизлучения / Ключник А.В., Пирогов Ю.А., Солодов А.В. // Радиотехника и электроника. - 2011. - Т. 56, № 3. - С. 375-378.
- Klyuchnik A.V., Pirogov Yu.A., Solodov A.V. Investigation of the IC Resistance to Pulsed Electromagnetic Radiation // Journal of Communications Technology and Electronics, 2011, Vol. 56, № 3, Pp. 342-346.
- Шапиро Д.Н. Электромагнитное экранирование: монография. - Долгопрудный: Издат. дом "Интеллект", 2010. - 120 с.
