Прорезание канавок импульсным и квазинепрерывным CO2-лазерами пленок GaN для отвода газообразного азота
Автор: Ефремов И.Д.
Журнал: Международный журнал гуманитарных и естественных наук @intjournal
Рубрика: Технические науки
Статья в выпуске: 5-2 (80), 2023 года.
Бесплатный доступ
В данной работе рассматривается использование современных материалов, таких как сапфир, кремний, алмаз, нитрид галлия, в производстве твердотельных полупроводниковых приборов, элементов оптики, микро и оптоэлектроники. Особое внимание уделено процессу прорезания канавок для отведения газов при отделении пленки GaN. В ходе работы были проведены эксперименты над пленками, выращенными методом HVPE и MOCVD. Резка является ключевой операцией в производстве подобных приборов. Исследования показывают, что внедрение лазерной резки в производственные процессы может значительно повысить производительность и увеличить выход годной продукции на базе полупроводниковых пластин.
Лазерная резка, нитрид галлия, прорезание канавок, пленки, отделение образцов, методы роста
Короткий адрес: https://sciup.org/170199361
IDR: 170199361 | DOI: 10.24412/2500-1000-2023-5-2-84-88
Список литературы Прорезание канавок импульсным и квазинепрерывным CO2-лазерами пленок GaN для отвода газообразного азота
- Голышев А.А. Сравнительное исследование энергетики лазерной резки волоконным и СО2-лазером // [Диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук] / Институт теоретической и прикладной механики им. С.А. Христиановича. - Новосибирск, 2016.
- Dubravko I. Babić, Quentin Diduck, FiroozFaili, John Wasserbauer, Frank Lowe,Daniel Francis, Felix Ejeckam. Laser machining of GaN-on-diamond wafers // 2018.
- Sobih M., Crouse P.L., Li L. Laser cutting of variable thickness materials - understanding the problem // 25-th International congress on applications of lasers and electro-optics // 2006.
- Вирко М.В., Коготков В.С., Леонидов А.А., Вороненков В.В., Ребане Ю.Т., Зубрилов А.С., Горбунов Р.И., Латышев Ф.Е., Бочкарева Н.И., Леликов Ю.С., Тархин Д.В., Смирнов А.Н., Давыдов В.Ю., Шретер Ю.Г. Физика и техника полупроводников. - 2016. - Т. 50, Вып. 5. - С. 711-716.
- Nix D., Clemens B.M., Mater J. Res., 14 (8), 3467 (1999).
