Разработка источника ленточных пучков ионов газов для модификации рулонных материалов
Автор: Емлин Даниил Рафаилович, Меньшаков Андрей Игоревич
Рубрика: Контроль и испытания
Статья в выпуске: 33 (292), 2012 года.
Бесплатный доступ
Описаны принцип работы, конструкция и приведены результаты испытаний ленточного источника газовых ионов на основе несамостоятельного газового разряда низкого давления, поддерживаемого эмиссией плазменного катода с сеточной стабилизацией. Источник генерирует пучки ионов газов (N 2, Ar, O 2 и их смесей) в импульсно-периодическом режиме (5-1000 Гц, 0,25-0,5 мс). Поперечное сечение пучка 650x80 мм 2. Энергия ионов регулируется в пределах 15-40 кэВ, средний ток пучка от 0,5 до 200 мА, неоднородность распределения плотности тока вдоль большой оси сечения пучка ±10 %. Источник работает в диапазоне давлений 0,03-0,07 Па, обеспечиваемых паромасляным насосом. Высокая надежность и большой ресурс ионного источника обусловлены использованием в его газоразрядной системе плазменного катода на основе тлеющего разряда.
Тлеющий разряд, плазма, ленточный ионный источник, ионный пучок, модификация поверхности материалов
Короткий адрес: https://sciup.org/147151578
IDR: 147151578
Список литературы Разработка источника ленточных пучков ионов газов для модификации рулонных материалов
- Хаит, Г.И. Исследование прочностных свойств композитов с сильно выраженной неоднородностью/Г.И. Хаит, под ред. Ю.В. Соколкина//Деформирование и разрушение композитов: сб. -Свердловск: УНЦ АН СССР, 1985. -C. 25-28.
- Плешивцев, Н.В. Физика воздействия ионных пучков на материалы/Н.В. Плешивцев, А.И. Бажин. -М.: Вуз. кн., 1998. -392 с.
- Влияние облучения ионами азота на свойства пиролитического графита/Е.А. Лигачева, М.Б. Иванов, Н.В. Гаврилов и др.//Изв. вузов. Порошковые материалы и функциональные покрытия. -2008. -№ 2. -С. 42-45.
- Ion irradiation of carbon fibers/N.V. Gavrilov, A.E. Ligachev, E.A. Ligacheva, D.R. Emlin//6th international conference of modification of materials with particle beams and plasma flows, 23-28.09.2002. -Tomsk, 2002. -P. 351-352.
- Влияние режимов ионного облучения на адгезию медного покрытия к полиэтилену/Н.В. Гаврилов, Д.Р. Емлин, А.В. Кондюрин, В.Н. Мизгулин//Хим. физика и мезоскопия. -1999. -Т. 1, № 1. -C. 48-59.
- Модификация оксидированных Zr-Nb сплавов ионными пучками высокой интенсивности/Т.А. Белых, Н.В. Гаврилов, О.А. Голосов и др.//Физика и химия обработки материалов. -2003. -№ 6. -С. 14-20.
- Structure of Polyethylene After Pulse 1on Beam Treatment/N. Gavrilov, D. Yakusheva, A. Kondyurin et al.//J. Applied Polymer Science. -1998. -Vol. 69. -P. 1071-1077.
- 1on beam modification of polyethylene and adhesion to epoxy adhesive/G.A. Mesyats, Yu.S. Klyachkin, N.V. Gavrilov et al.//Vacuum. -1996. -Vol. 47, № 9. -P. 1085-1087.
- Модификация полимерных пленок ПЭ, ПТФЭ, ПК, ПИ импульсными ионными пучками/Н.В. Гаврилов, В.Н. Мизгулин, Р. Стиннетт, А.В. Кондюрин//Хим. физика и мезоскопия. -1999. -Т. 1, № 1. -C. 39-47.
- Влияние облучения ионами азота на свойства пиролитического графита/М.Б. Иванов, Н.В. Гаврилов, Д.Р. Емлин и др.//Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы 7-й междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007. -Минск: Издат. центр БГУ, 2007. -C. 20-23.
- 1nfluence of ion irradiation on properties of graphite/Е.А. Лигачева, М.Г. Иванов, Н.В. Гаврилов и др.//Изв. вузов. Физика. -2006. -№ 8, Прил. -C. 316-317.
- Несамостоятельный тлеющий разряд с полым катодом для широкоапертурных ионных источников/А.В. Визирь, Е.М. Окс, П.М. Щанин, Г.Ю. Юшков//ЖТФ. -1997. -Т. 67, № 6. -С. 27-31.
- Гаврилов, Н.В. Характеристики ионного источника с плазменным катодом и многополюсной магнитной системой удержания быстрых электронов/Н.В. Гаврилов, А.С. Каменецких//ДАН. Сер. физ. -2004. -Т. 394, № 2. -С. 183-186.
- Незлин, М.В. Динамика пучков в плазме/М.В. Незлин. -М.: Энергоиздат, 1982. -218 с.
- Гаврилов, Н.В. Расширение рабочего диапазона давлений газа и увеличение ресурса сетки плазменного катода в ионном источнике/Н.В. Гаврилов, А.С. Каменецких//ЖТФ. -2007. -Т. 77. -Вып. 3. -С. 12-16.
- Источник ленточного пучка ионов газов/Н.В. Гаврилов, Д.Р. Емлин, О.А. Буреев и др.//Труды 111 Междунар. семинара «Плазменная эмиссионная электроника». -Улан-Удэ: Изд-во БНЦ CO РАН, 2009. -С. 92-99.
- Gilbody, H.B. 1onization by positive ions/H.B. Gilbody, J.B. Hasted//Proc. Roy. Soc. (London). Series A, Math. and Phys. Sciences. -1957. -Vol. 240. -1ss. 1222. -P. 382-395.
- Гаврилов, Н.В. Стабилизация сеточно-плазменного катода в широком диапазоне давлений газа/Н.В. Гаврилов, Д.Р. Емлин, А.С. Каменецких//Изв. вузов. Физика. -2007. -№ 10/2. -С. 154-160.
- Майоров, С.А. Расчет сечений резонансной перезарядки ионов гелия, неона, аргона, криптона, ксенона, рубидия, цезия и ртути/С. А. Майоров//Труды XXXIV Междунар. конф. по физике плазмы и УТС, 12-16 февр. 2007 г. -Звенигород, 2007.
- Формирование ленточного эмиттера ионов в импульсном разряде с плазменным катодом/Н.В. Гаврилов, Д.Р. Емлин, А.С. Каменецких, А.И. Меньшаков//Изв. вузов. Физика. -2009. -Т. 52, № 11/2. -С. 85-90.
- Proton and helium stopping cross sections in H2, He, N2, O2, Ne, Ar, Kr, Xe, CH4 and CO2/G. Reiter, N. Kniest, E. Pfaff, G. Clausnitzer//Nucl. 1nstrum. Methods Phys. Res. -1990. -Sect. B 44. -P. 399-411.
